[实用新型]优化TELtactras平台CDA管路压力报警系统的装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种压力监测装置，尤其涉及一种压力报警装置。

背景技术

TEL tactras平台的设备主要用于氧化膜刻蚀工艺，该设备由三大模块组成(装载/卸载模块、传送模块、工艺腔体模块)，每片晶圆都要经过这三个模块来完成该道工艺。而每个模块的相关传送部件都是有CDA(Compressed Dry Air，压缩干燥空气)来驱动，该设备对CDA压力的规格要求为0.5Mpa～0.55MPa，压力过低会造成传送时间过长或无法完成传送，压力过高会有传送部件物理损伤的风险。目前，此设备的压力侦测点和报警回路系统均在主机台进口端，一旦压力超出规格，机台报警，所有模块立即停止运行(包括正在生产的工艺腔体)。

该平台的设备经常发生CDA压力超规格的报警，导致正常作业的产品在工艺腔体中停止作业，产生报废，另外由于腔体的非正常停止作业产生颗粒物而提前做保养和某些运动部件突然停止而损坏。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的缺陷，提供一种优化控制TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置。

本实用新型为解决上述技术问题采用以下技术方案：

一种优化TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置，其特征在于：包括：进口端设置压力侦测装置的主机台和与所述主机台连接的：

装载/卸载模块：包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和起降气缸；

传送模块：包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和氮气开关阀门；

工艺腔体模块；包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的工艺腔体；

所述装载/卸载模块、传送模块和工艺腔体模块中的压力侦测装置与报警回路系统相连。

为了进一步优化上述技术方案，本实用新型所采取的技术措施为：

优选的，所述工艺腔体数量为至少一个。

优选的，所述报警回路系统分别与所述装载/卸载模块、传送模块和工艺腔体模块的控制系统相连。

优选的，所述压力侦测装置设气压侦测上限设定键合气压侦测下限设定键。

优选的，所述压力侦测装置的气压侦测上限值设为0.55MPa。

优选的，所述压力侦测装置的气压侦测下限值设为0.5MPa。

优选的，所述控制系统设模块停止运行键。

优选的，所述报警回路系统设报警器。

优选的，所述报警器为蜂鸣报警器。

优选的，所述报警器为声光报警器。

本实用新型采用以上技术方案，与现有技术相比，具有如下技术效果：

本优化CDA管路压力报警系统，保留原先的主机台进口端的压力侦测点，取消其报警功能，在每个模块的CDA分支上加装压力侦测装置和报警回路系统，当某个支路的CDA压力超规格，报警反馈给该模块，该模块停止运行，不影响其他模块的正常作业。

附图说明

图1为原TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置结构示意图；

图2为本实用新型的一种优选实施例的优化TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的技术方案做进一步的详细说明。

如图2所示，本实用新型的优化TEL tactras平台CDA管路压力报警系统的装置，包括：进口端设置压力侦测装置的主机台和与所述主机台连接的：

装载/卸载模块：包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和起降气缸；

传送模块：包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的门板气缸和氮气开关阀门；

工艺腔体模块；包括分别在出口端设置压力侦测装置和报警回路系统的工艺腔体；

所述装载/卸载模块、传送模块和工艺腔体模块中的压力侦测装置与报警回路系统相连；

所述工艺腔体数量为至少一个；所述报警回路系统分别与所述装载/卸载模块、传送模块和工艺腔体模块的控制系统相连；所述压力侦测装置设气压侦测上限设定键合气压侦测下限设定键；所述压力侦测装置的气压侦测上限值设为0.55MPa；所述压力侦测装置的气压侦测下限值设为0.5MPa；所述控制系统设模块停止运行键；所述报警回路系统设报警器；所述报警器为蜂鸣报警器或声光报警器。所述压力侦测装置和报警回路系统均为现有的仪器装置。

本实用新型的具体流程为：