[实用新型]粘合力检查装置有效
申请号: | 201720884179.0 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN207472740U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 渡部格 | 申请(专利权)人: | 苏州住友电木有限公司 |
主分类号: | G01N19/04 | 分类号: | G01N19/04 |
代理公司: | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人: | 刘煜 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加压构件 检查装置 粘合力 密封树脂 固化物 硅基板 试验体 载置台 基材 半导体芯片 本实用新型 侧面 粘合性 中间层 载置 垂直 检查 | ||
【权利要求书】:
1.一种粘合力检查装置,其特征在于,包括:
载置台,其载置试验体,所述试验体具有上表面具有涂层的硅基板和在所述涂层之上固化的密封树脂的固化物;
加压构件,其从垂直于所述固化物的侧面的方向接触该侧面;以及
控制部,其控制所述加压构件的动作,
所述加压构件为长方体的形状。
2.如权利要求1所述的粘合力检查装置,其特征在于,
所述载置台具有从该载置台的载置面突出的按压部,
所述按压部接触所述硅基板的侧面,并且不接触所述固化物的侧面,
所述加压构件将力施压在所述固化物的侧面中的与所述按压部相反一侧的侧面上。
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