[实用新型]一种取晶、固晶装置及其采用它的固晶机有效
申请号: | 201720895939.8 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN207217478U | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 王敕;戴泳雄 | 申请(专利权)人: | 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司32232 | 代理人: | 孙艳 |
地址: | 215513 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 装置 及其 采用 固晶机 | ||
1.一种取晶、固晶装置,其特征在于,包括:
固晶台,所述固晶台沿X、Y方向运动,所述固晶台上嵌设有平面治具座,所述平面治具座与所述固晶台平齐,所述平面治具座连接有加热装置;
转臂,所述转臂设有沿平行于所述转臂的旋转轴线来回运动的焊头,所述焊头用于取晶和固晶;
基板,所述基板位于所述固晶台上方且相对于所述固晶台沿X方向作进给运动;
第一驱动装置,所述第一驱动装置与所述转臂连接,用于驱动所述转臂圆周转动;
晶圆台和晶圆台驱动装置,所述晶圆台用于固定晶圆,所述晶圆台驱动装置用于驱动所述晶圆台沿X、Y方向运动以及驱动所述晶圆台绕其旋转轴线旋转。
2.根据权利要求1所述的一种取晶、固晶装置,其特征在于,还包括第一视觉定位装置和第二视觉定位装置,所述第一视觉定位装置固定于所述晶圆台上方,所述第二视觉定位装置固定于所述平面治具座上方。
3.根据权利要求2所述的一种取晶、固晶装置,其特征在于,所述平面治具座的四个角附近设有阶梯孔,所述阶梯孔内安装有调平螺丝和弹簧,所述弹簧套设于所述调平螺丝上。
4.根据权利要求3所述的一种取晶、固晶装置,其特征在于,所述焊头为一伸缩式结构,焊头包括第一连接杆、套筒、第二连接杆和压簧,第一连接杆与套筒滑动连接,第二连接杆穿设于套筒内且与套筒固定连接,压簧一端与第一连接杆连接,压簧的另一端与第二连接杆的一端连接,第一连接杆的周向设有凹槽,套筒内壁设有导向凸起,凹槽与导向凸起配合,气管插入第一连接杆和第二连接杆中并与吸嘴连接,气管连接有真空发生器。
5.固晶机,包括基板上料装置、点胶装置,其特征在于,还包括如权利要求1-4任一所述的一种取晶、固晶装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造