[实用新型]一种取晶、固晶装置及其采用它的固晶机有效

专利信息
申请号: 201720895939.8 申请日: 2017-07-21
公开(公告)号: CN207217478U 公开(公告)日: 2018-04-10
发明(设计)人: 王敕;戴泳雄 申请(专利权)人: 江苏艾科瑞思封装自动化设备有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 苏州华博知识产权代理有限公司32232 代理人: 孙艳
地址: 215513 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 装置 及其 采用 固晶机
【权利要求书】:

1.一种取晶、固晶装置,其特征在于,包括:

固晶台,所述固晶台沿X、Y方向运动,所述固晶台上嵌设有平面治具座,所述平面治具座与所述固晶台平齐,所述平面治具座连接有加热装置;

转臂,所述转臂设有沿平行于所述转臂的旋转轴线来回运动的焊头,所述焊头用于取晶和固晶;

基板,所述基板位于所述固晶台上方且相对于所述固晶台沿X方向作进给运动;

第一驱动装置,所述第一驱动装置与所述转臂连接,用于驱动所述转臂圆周转动;

晶圆台和晶圆台驱动装置,所述晶圆台用于固定晶圆,所述晶圆台驱动装置用于驱动所述晶圆台沿X、Y方向运动以及驱动所述晶圆台绕其旋转轴线旋转。

2.根据权利要求1所述的一种取晶、固晶装置,其特征在于,还包括第一视觉定位装置和第二视觉定位装置,所述第一视觉定位装置固定于所述晶圆台上方,所述第二视觉定位装置固定于所述平面治具座上方。

3.根据权利要求2所述的一种取晶、固晶装置,其特征在于,所述平面治具座的四个角附近设有阶梯孔,所述阶梯孔内安装有调平螺丝和弹簧,所述弹簧套设于所述调平螺丝上。

4.根据权利要求3所述的一种取晶、固晶装置,其特征在于,所述焊头为一伸缩式结构,焊头包括第一连接杆、套筒、第二连接杆和压簧,第一连接杆与套筒滑动连接,第二连接杆穿设于套筒内且与套筒固定连接,压簧一端与第一连接杆连接,压簧的另一端与第二连接杆的一端连接,第一连接杆的周向设有凹槽,套筒内壁设有导向凸起,凹槽与导向凸起配合,气管插入第一连接杆和第二连接杆中并与吸嘴连接,气管连接有真空发生器。

5.固晶机,包括基板上料装置、点胶装置,其特征在于,还包括如权利要求1-4任一所述的一种取晶、固晶装置。

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