[实用新型]一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体制造工艺领域，特别涉及一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉。

背景技术

申请号为CN201521039652.2的专利文件，提到“在晶体硅太阳能电池制造过程中，硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体，在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说，先将硅片插在石英舟上，然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中，通入含有扩散源的气体，在高温条件下扩散源与硅片发生反应，实现扩散过程从而形成PN结。”

该文件公开了“一种太阳能硅片扩散装置，包括石英舟、设于石英舟与进气口之间的气流汇集装置，石英舟由两个支撑板和设于支撑板之间的多个石英棒构成支撑结构，且石英棒上开有多个用于放置硅片的刻槽，其特征在于：石英棒采用中空式结构，支撑板上开有多个与各个石英棒相通的通孔；石英棒上位于相邻刻槽间还开有散气孔，且散气孔与石英棒贯通；气流汇集装置为一具有汇流孔的挡板式结构，汇流孔出口端朝向石英舟，且支撑板上通孔的投影均位于汇流孔的出口端内”。

上述技术方案的目的是“一是通过带汇流孔的气流汇集装置汇集气流，使气流快速流入石英舟上的石英棒内并从散气孔处吹向硅片，有效提高了扩散源的利用率，也可以进一步增加传输距离，从而提高单炉扩散的产量，降低生产成本；二是通过中空石英棒和开设在石英棒上的散气孔，将扩散源充分且均匀地分布在硅片之间的空间区域，可以显著提高硅片扩散均匀性，从而提高了太阳能电池转换效率，同时也大大提高了扩散源的利用，节约了生产成本；三是可以通过散气孔在石英棒上的开孔位置分布，来控制气流的方向，使扩散源气流更加均匀分布在硅片所在的范围内，根据生产需求灵活设置，实用性强”。然而，实践中，这种石英扩散炉工作时，除了考虑气流的汇流问题，还要考虑其他因素，例如石英扩散炉内扩散均匀性的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉，以解决石英扩散炉内扩散不均匀的问题。

一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管，

石英舟用于承载光伏硅片，

石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用，

保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用，

喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷，

挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流，

石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气，

排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶，

石英扩散炉还包括匀流板，匀流板设置在靠近石英扩散炉尾部的进气口，匀流板上设有多个过孔。

匀流板上的多个过孔呈现为米字分布。

TC管即测温管，TC是英文thermocouple的缩写。

本实用新型针对现有的光伏硅片石英扩散炉，石英炉进气管直接通入扩散炉内，对炉内气流无法实现控制，本实用新型在石英炉管内部进气口增加匀流板，使得气流能够均匀地分布炉管内，增加扩散的均匀性。

附图说明

通过参考附图阅读下文的详细描述，本实用新型示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本实用新型的若干实施方式，其中：

图1是本实用新型石英扩散炉结构侧视示意图。

图2是本实用新型石英扩散炉的匀流板的主视图。

1——喷淋管，2——石英舟，3——挡板，4——保温桶，5——石英炉门，6——进气口，7——排废管，8——TC管，9——匀流板。

具体实施方式

如图1和2所示，一种均匀扩散的光伏硅片石英扩散炉，该石英扩散炉包括喷淋管、石英舟、挡板、保温桶、石英炉门、排废管和TC管。

石英舟用于承载光伏硅片。石英炉门安装在石英扩散炉的头部，对于石英扩散炉起到密封作用。保温桶位于石英扩散炉内靠近石英炉门一侧，起到隔热作用。喷淋管位于石英扩散炉内上部，用于通入喷淋保护气体三氯氧磷。挡板用挂钩的方式设置在喷淋管和保温桶之间，用于阻挡石英扩散炉内部气流。石英扩散炉的进气口设置在石英扩散炉的尾部，用于通入氧气。排废管和TC管安装在石英扩散炉内的底部，排废管用于排出废液，TC管用于放置热电偶。