[实用新型]一种管道结构及光刻胶显影设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体生产技术领域，尤其涉及一种适用于光刻胶显影设备的管道结构及光刻胶显影设备。

背景技术

光刻胶显影设备的化学品供应管道，化学品从供料口进入缓存罐缓存，再经过过滤器过滤后送到显影机台的喷嘴端，喷嘴端高于过滤器。当化学品充满管道的情况下，显影机台的喷嘴与过滤器的出料口的压差基本不大，化学品能正常按要求供应到喷嘴端。但是所有化学品的过滤器都是有寿限的耗材，过了使用期限后过滤器的性能降低，进一步影响整个显影工序，因此需要对过滤器进行定期更换。更换新的过滤器后，新过滤器中有空气，通过过滤器的出料口排放到管道中，再通过喷嘴排出管道，但是由于管道中存在空气，喷嘴端与过滤器出料端的压差变大，以及管道布线上下缠绕等问题，使得空气积在管道里无法从喷嘴端排出。在管道中存有空气时，会直接导致化学品从喷嘴喷涂时流量不稳定，无法满足正常生产需求。为了防止管道内积存空气，现有设备的防堵措施为，在喷嘴端之前设置一个三通接头，手动拧开一个接头，使化学品液体中的空气从接头排出管道，这种方法虽然能解决流量不稳定的问题，但是在排放空气的过程中可能会使化学品溅射到操作人员身上，导致操作人员中毒；或者溅射到显影机台的内部，触发泄漏传感器，导致显影机台报警。因此上述方法潜在风险大，不能长期实施。

发明内容

根据现有技术中存在的上述问题，现提供一种管道结构及光刻胶显影设备，适用于光刻胶显影设备，包括：

过滤器，包括出料口和废液排放口，所述出料口连通出料管道，所述废液排放口连接通废液排放管道；

喷嘴，通过所述出料管道与所述过滤器连通；

三通阀，设置于所述出料管道上，所述三通阀的进口与所述出料口连通，所述三通阀的两个出口分别连通所述喷嘴和所述废液排放管道。

较佳的，上述管道结构中，还包括一流量计，设置于所述出料管道上，所述流量计设置于所述三通阀和所述喷嘴之间。

较佳的，上述管道结构中，所述三通阀为手动调节的三通阀。

较佳的，上述管道结构中，其特征在于，所述废液排放管道的末端设置有排液阀。

较佳的，上述管道结构中，还包括一缓存罐，所述缓存罐的出口通过管道连通所述过滤器的入口。

还包括，一种光刻胶显影设备，其中，包括上述任一所述的管道结构。

上述技术方案的有益效果是：通过设置一个三通阀，在更换过滤器后，使过滤器的出料口与废液排放管道连通，通过废液排放管道排出过滤器中的空气，解决过滤器中的空气进入供液管道内无法从喷嘴端排出的问题。

附图说明

图1是本实用新型的较佳的实施例中，一种管道结构的结构示意图；

图2是本实用新型的较佳的实施例中，管道中液体流动方向示意图；

图2中，实线箭头所示方向为，正常生产时化学品的流动方向；

虚线箭头所示方向为排放空气时废液的流动方向。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，但不作为本实用新型的限定。

本实用新型的较佳的实施例中，如图1和图2所示，一种管道结构，适用于光刻胶显影设备，包括：

过滤器1，包括出料口和废液排放口，出料口连通出料管道2，废液排放口连接通废液排放管道3；

喷嘴4，通过出料管道2与过滤器1连通；

三通阀5，设置于出料管道2上，三通阀的进口与出料口连通，三通阀的两个出口分别连通喷嘴4和废液排放管道3。

本实施例中，如图2所示，当设备处于生产状态时，调节三通阀5，使过滤器1的出料口与出料管道2连通，同时过滤器1的出料口与废液排放管道3阻断，化学品从过滤器1的出料口经出料管道2流动至喷嘴4；当设备更换新的过滤器后，处于排空气状态时，调节三通阀5，使过滤器1的出料口与废液排放管道3连通，同时过滤器1的出料口与出料管道阻断，过滤器中的空气随废液从废液排放管道3中排出。

上述技术方案中，通过设置一个三通阀5，在更换过滤器1后，使过滤器1的出料口与废液排放管道3连通，通过废液排放管道3排出过滤器1中的空气，解决过滤器1中的空气进入供液管道内无法从喷嘴4端排出的问题。

本实用新型的较佳的实施例中，还包括一流量计6，设置于出料管道2 上，流量计6设置于三通阀5和喷嘴4之间。用于测量出料管道中物料的流速，方便工作人员了解设备的工作状态。