[实用新型]一种膜厚量测设备

权利要求书

1.一种膜厚量测设备，其特征在于，包括移动装置、与所述移动装置连接的测厚模块，以及驱动装置；所述测厚模块通过所述驱动装置和/或所述移动装置移动；所述测厚模块包括非接触式测厚模块与接触式测厚模块，并通过接触式测厚模块测量的数据对非接触式测厚模块测量的数据实现补偿。

2.根据权利要求1所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述驱动装置与所述测厚模块和/或所述移动装置连接，驱动所述测厚模块和/或所述移动装置移动。

3.根据权利要求2所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述移动装置包括移动导轨、及与所述移动导轨连接的第一支架和第二支架，所述测厚模块分别与所述第一支架、第二支架连接；

所述驱动装置包括第一驱动装置和第二驱动装置，其中，所述第一驱动装置与所述移动装置连接，所述移动装置在所述第一驱动装置的驱动下沿所述移动导轨移动，所述第二驱动装置与所述测厚模块连接，所述测厚模块在所述第二驱动装置的驱动下运动。

4.根据权利要求3所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述测厚模块与所述第一支架、第二支架间通过坦克链连接。

5.根据权利要求3所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述移动导轨包括第一部分和第二部分，所述第一部分和第二部分分别固定于承载台相对的两侧，所述第一支架和所述第二支架的两端分别与所述第一部分和所述第二部分之间通过滑动或滚动连接。

6.根据权利要求2所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述移动装置包括移动导轨、及与所述移动导轨连接的第一支架和第二支架，所述测厚模块分别与所述第一支架、第二支架连接；所述驱动装置与所述移动装置连接，驱动所述移动装置沿所述移动导轨移动。

7.根据权利要求1所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述非接触式测厚模块为光学模块。

8.根据权利要求7所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述光学模块为椭偏仪。

9.根据权利要求1所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述接触式测厚模块为电学模块。

10.根据权利要求9所述的膜厚量测设备，其特征在于，所述电学模块为台阶仪。