[实用新型]曝光机灯板散热装置有效
| 申请号： | 201720929730.9 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN207198549U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李致齐 | 申请（专利权）人： | 科毅科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司11228 | 代理人： | 黄挺 |
| 地址： | 中国台湾桃园市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 曝光 机灯板 散热 装置 | ||
1.一种曝光机灯板散热装置，其特征在于，包含：
一循环管路，所述循环管路填充有一工作流体；
一致冷模块，连通所述循环管路且所述致冷模块将输入所述致冷模块的所述工作流体降温至低于环境空气的室温后输出；
一温控模块，连通所述循环管路且热连接环境空气，所述致冷模块输出的所述工作流体输入所述温控模块与环境空气热交换后再输出；以及
一热交换模块，热连接一发光二极管灯板，所述温控模块输出的所述工作流体输入所述热交换模块与所述发光二极管灯板热交换后再输出至所述循环管路中。
2.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，还包含连通所述循环管路的一水泵。
3.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，还包含连通所述循环管路用以储存所述工作流体的一缓冲槽。
4.如权利要求3所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，其中所述缓冲槽与环境空气绝热。
5.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，所述温控模块包含一风扇。
6.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，其中所述循环管路与环境空气绝热。
7.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，其中所述温控模块曝露在环境空气中。
8.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，其中所述热交换模块贴附所述发光二极管灯板。
9.如权利要求1所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，其中所述温控模块连通在所述致冷模块及所述热交换模块之间。
10.如权利要求9所述的曝光机灯板散热装置，其特征在于，其中所述工作流体沿所述工作流体的循环方向依序通过所述致冷模块、所述温控模块及所述热交换模块。
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