[实用新型]曝光机的光学装置

说明书

本实用新型提供一种曝光机的光学装置，其包含一发光二极管灯板、一复眼透镜组及一转向反射镜；发光二极管灯板用以朝向一水平方向投射一光束；复眼透镜组配置在发光二极管灯板的投射路径上且与发光二极管灯板层叠排列；转向反射镜配置在发光二极管灯板的投射路径上且复眼透镜组配置在发光二极管灯板与转向反射镜之间，转向反射镜用以将发光二极管灯板投射的光束反射而向下转向一垂直方向；由此将发光二极管灯板所投射的水平光束转向为垂直投射且调整为平行光。

技术领域

本实用新型是有关于一种曝光机，尤其是关于一种能够垂直转向投射平行光束的曝光机的光学装置。

背景技术

曝光机为一般印刷电路板或半导体芯片在进行曝光显影制程时常用的设备。曝光机投射的光束必需要以透镜组修正为平行光再投射至工作对象上，如此方能确保工作对象受到均匀光照。一般而言，曝光机工作时，工作对象平放而光束自工作对象上方向下投射以照射工作对象。工作对象上方需要配置光源以及透镜组并且预留光束投射路径的空间，因此，曝光机一般而言占用相当大的空间，而且其设备高度过高不易维护。

实用新型内容

本实用新型提供一种能够垂直转向投射平行光束的曝光机的光学装置。

本实用新型提供一种曝光机的光学装置，其包含一发光二极管灯板、一复眼透镜组及一转向反射镜。发光二极管灯板用以朝向一水平方向投射一光束。复眼透镜组配置在发光二极管灯板的投射路径上且与发光二极管灯板层叠排列。转向反射镜，配置在发光二极管灯板的投射路径上且复眼透镜组配置在发光二极管灯板与转向反射镜之间，转向反射镜用以将发光二极管灯板投射的光束反射而向下转向一垂直方向。

本实用新型的曝光机的光学装置，其中复眼透镜组包含一聚光复眼透镜，聚光复眼透镜配置在发光二极管灯板的投射路径上用以聚集发光二极管灯板发出的光束。聚光复眼透镜与发光二极管灯板紧邻且相互间隔配置。复眼透镜组包含一均化复眼透镜，均化复眼透镜配置在发光二极管灯板的投射路径上，且聚光复眼透镜配置在发光二极管灯板与均化复眼透镜之间，均化复眼透镜用以均化通过聚光复眼透镜聚集的光束。均化复眼透镜与聚光复眼透镜紧邻且相互间隔配置。聚光复眼透镜为数个子聚光透镜排列构成，均化复眼透镜为数个子均化透镜排列构成，且子均化透镜的单位面积排列密度大于子聚光透镜的单位面积排列密度。

本实用新型的曝光机的光学装置还包含一聚光透镜，聚光透镜配置在发光二极管灯板的投射路径上用以聚集转向反射镜反射的光束。

本实用新型的曝光机的光学装置还包含一光圈，光圈配置在发光二极管灯板的投射路径上用以限制光束的投射截面范围。

本实用新型的曝光机的光学装置，其转向反射镜为平面镜。

本实用新型的曝光机的光学装置，由复眼透镜组及转向反射镜配合而能够将发光二极管灯板所投射的水平光束转向为垂直投射且调整为平行光。因此能够紧密配置组件，由此缩减曝光机设备占用空间。

附图说明

图1为本实用新型曝光机的光学装置的较佳实施例的立体示意图。

图2为本实用新型曝光机的光学装置的较佳实施例中的聚光复眼透镜的立体示意图。

图3为本实用新型曝光机的光学装置的较佳实施例中的均化复眼透镜的立体示意图。

图中符号表示：

10 光束；11 水平方向；12 垂直方向；100 发光二极管灯板；200 复眼透镜组；210聚光复眼透镜；211 子聚光透镜；220 均化复眼透镜；221 子均化透镜；300 转向反射镜；400 聚光透镜；500 光圈。

具体实施方式