[实用新型]一种高温氧化炉晶舟有效
申请号: | 201720931876.7 | 申请日: | 2017-07-28 |
公开(公告)号: | CN207134341U | 公开(公告)日: | 2018-03-23 |
发明(设计)人: | 王志良;裴雷洪;俞玮 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 上海申新律师事务所31272 | 代理人: | 俞涤炯 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高温 氧化 炉晶舟 | ||
1.一种高温氧化炉晶舟,其特征在于:包括彼此平行设置的上盖板(1)、下盖板(2)和带卡合件(31)的片状环(3);还包括连接所述上盖板(1)、下盖板(2)和片状环(3),顶端设可拆卸连接部(4)的连接柱(5);与所述连接柱(5)通过可拆卸连接部(4)连接的圆弧形手柄(6);所述可拆卸连接部(4)包括连接柱连接部(51)和手柄连接部(61)。
2.根据权利要求1所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述可拆卸连接部(4)还包括连接所述连接柱连接部(51)和手柄连接部(61)的连接件(41)。
3.根据权利要求2所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接柱连接部(51)与手柄连接部(61)设外螺纹;所述连接件(41)为设与所述外螺纹适配的两端带内螺纹孔的圆柱形连接件(41)。
4.根据权利要求3所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接件(41)中间段设六角形着力段。
5.根据权利要求1所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接柱连接部(51)设十字型孔或十字型槽。
6.根据权利要求5所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接柱连接部(51)为正面中间设水平长方形通孔(52)、背面中间设横向与所述长方形通孔连通,竖向延伸至上下表面的十字型凹槽(53)的长方体状连接柱连接部(51);所述手柄连接部(61)底端连接与所述长方形通孔(52)大小适配的转动杆(62)。
7.根据权利要求6所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:还包括横向杆(7),所述十字型凹槽(53)的横向凹槽与连接柱连接部(51)的左右两侧面设与所述横向杆(7)适配的连接通孔(54),并在手柄连接部(61)与所述连接通孔(54)适配位置设手柄通孔(63);横向杆(7)穿过连接通孔(54)和手柄通孔(63)将手柄连接部(61)和连接柱连接部(51)固定连接。
8.根据权利要求5所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:还包括横向杆(7),所述连接柱连接部(51)设十字型通孔,所述十字型通孔的横向通孔与所述横向杆(7)适配,竖向通孔与手柄连接部(61)大小适配,所述手柄连接部(61)与横向杆(7)适配位置设手柄通孔(63)。
9.根据权利要求8所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述横向杆(7)长度比所述连接柱连接部(51)长。
10.根据权利要求9所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述上盖板(1)、下盖板(2)、片状环(3)、手柄(6)、连接柱(5)和可拆卸连接部(4)均为石英材质。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造