[实用新型]一种高温氧化炉晶舟有效

专利信息
申请号: 201720931876.7 申请日: 2017-07-28
公开(公告)号: CN207134341U 公开(公告)日: 2018-03-23
发明(设计)人: 王志良;裴雷洪;俞玮 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 上海申新律师事务所31272 代理人: 俞涤炯
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 高温 氧化 炉晶舟
【权利要求书】:

1.一种高温氧化炉晶舟,其特征在于:包括彼此平行设置的上盖板(1)、下盖板(2)和带卡合件(31)的片状环(3);还包括连接所述上盖板(1)、下盖板(2)和片状环(3),顶端设可拆卸连接部(4)的连接柱(5);与所述连接柱(5)通过可拆卸连接部(4)连接的圆弧形手柄(6);所述可拆卸连接部(4)包括连接柱连接部(51)和手柄连接部(61)。

2.根据权利要求1所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述可拆卸连接部(4)还包括连接所述连接柱连接部(51)和手柄连接部(61)的连接件(41)。

3.根据权利要求2所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接柱连接部(51)与手柄连接部(61)设外螺纹;所述连接件(41)为设与所述外螺纹适配的两端带内螺纹孔的圆柱形连接件(41)。

4.根据权利要求3所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接件(41)中间段设六角形着力段。

5.根据权利要求1所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接柱连接部(51)设十字型孔或十字型槽。

6.根据权利要求5所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述连接柱连接部(51)为正面中间设水平长方形通孔(52)、背面中间设横向与所述长方形通孔连通,竖向延伸至上下表面的十字型凹槽(53)的长方体状连接柱连接部(51);所述手柄连接部(61)底端连接与所述长方形通孔(52)大小适配的转动杆(62)。

7.根据权利要求6所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:还包括横向杆(7),所述十字型凹槽(53)的横向凹槽与连接柱连接部(51)的左右两侧面设与所述横向杆(7)适配的连接通孔(54),并在手柄连接部(61)与所述连接通孔(54)适配位置设手柄通孔(63);横向杆(7)穿过连接通孔(54)和手柄通孔(63)将手柄连接部(61)和连接柱连接部(51)固定连接。

8.根据权利要求5所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:还包括横向杆(7),所述连接柱连接部(51)设十字型通孔,所述十字型通孔的横向通孔与所述横向杆(7)适配,竖向通孔与手柄连接部(61)大小适配,所述手柄连接部(61)与横向杆(7)适配位置设手柄通孔(63)。

9.根据权利要求8所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述横向杆(7)长度比所述连接柱连接部(51)长。

10.根据权利要求9所述的高温氧化炉晶舟,其特征在于:所述上盖板(1)、下盖板(2)、片状环(3)、手柄(6)、连接柱(5)和可拆卸连接部(4)均为石英材质。

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