[实用新型]一种新型真空泵系统

权利要求书

1.一种新型真空泵系统，包括一级真空泵(1)，二级真空泵(2)，三级真空泵(3)，所述一级真空泵(1)、二级真空泵(2)、三级真空泵(3)依次串联连接，所述一级真空泵(1)和二级真空泵(2)均为气冷罗茨泵，所述气冷罗茨泵包括罗茨泵泵体，还包括与罗茨泵泵体相连的冷却器(4)，所述冷却器(4)的两端侧壁上设置有与罗茨泵泵体两侧设置的循环气体接入口相连通的管道接口，所述管道接口与循环气体接入口通过气体循环管道(5)密封相连通，罗茨泵泵体的排气口与冷却器(4)的内部设置的冷却腔相连通，冷却器(4)的中部下侧设置有排气接口，位于冷却器(4)的两端分别设置有冷却水接入口(7)和冷却水接出口(8)，冷却器(4)的冷却腔内设置有若干冷却管(6)，每个冷却管(6)的两端分别与冷却水接入口(7)和冷却水接出口(8)并联连通；一级真空泵(1)的冷却器(4)的排气接口与二级真空泵(2)的进气口相连，二级真空泵(2)的冷却器(4)的排气接口与三级真空泵(3)的进气口相连，所述三级真空泵(3)包括中间泵体、固定密封于中间泵体上的前端盖和后端盖，位于中间泵体内设置有两个相互共轭啮合的共轭转子，所述共轭转子包括一两叶转子(9)和一三叶转子(10)，所述两叶转子(9)和三叶转子(10)上设置有相互共轭啮合的凸型面和凹型面，两叶转子(9)、三叶转子(10)上开设的凸型面的面数与凹型面的面数之等于两叶转子(9)和三叶转子(10)的节圆直径之比；所述三叶转子的外轮廓上周向均匀设置有三个凸型体(11)和三个内凹圆弧形凹型面。

2.如权利要求1所述的一种新型真空泵系统，其特征在于，凸型体(11)的表面轮廓与凹圆弧形凹型面组成三叶转子(10)的外轮廓端面，三叶转子(10)的外轮廓边沿上设置有三组连续的三叶转子双边对称圆弧型线型的外轮廓组成曲线，其中一组三叶转子双边对称圆弧型线型的外轮廓组成曲线由位于三叶转子10的外轮廓边沿上的第一凸起圆弧段(AB)、第一摆线段(BC)、内凹圆弧型凹面段(CD)、第二摆线段(DE)、第二凸起圆弧段(EF)、第三凸起圆弧段(FG)依次相连组成；所述两叶转子(9)的两端对称设置有与三叶转子(10)的内凹圆弧形凹型面相共轭啮合的圆弧形凸起(12)，位于两叶转子(9)的中部两侧对称设置有与三叶转子(10)的凸型体(11)相共轭啮合的凹凸面，所述两叶转子(9)的外轮廓边沿上设置有两组连续的两叶转子双边对称圆弧型线型的外轮廓组成曲线，其中一组两叶转子双边对称圆弧型线型的外轮廓组成曲线由位于两叶转子(9)外轮廓边沿上的第一凹弧形段(HI)、第一摆线段(IJ)、第一凸弧形段(JK)、第二摆线段(KL)、第二凹弧形段(LM)、第二凸弧形段(MN)依次相连组成。

3.如权利要求2所述的一种新型真空泵系统，其特征在于，所述两叶转子双边对称圆弧型线型的外轮廓组成曲线与三叶转子双边对称圆弧型线型的外轮廓组成曲线共轭啮合对应关系为第一凹弧形段(HI)对应第一凸起圆弧段(AB)，第一摆线段(BC)对应位于第一凹弧形段(HI)与第一摆线段(IJ)之间的分界点(I)，第一摆线段(IJ)对应位于第一摆线段(BC)与内凹圆弧型凹面段(CD)之间的分界点(C),第一凸弧形段(JK)对应内凹圆弧型凹面段(CD)，第二摆线段(KL)对应位于内凹圆弧型凹面段(CD)与第二摆线段(DE)之间的分界点(D)，第二摆线段(DE)对应位于第二摆线段(KL)与第二凹弧形段(LM)之间的分界点(L),第二凹弧形段(LM)对应第二凸起圆弧段(EF)，第二凸弧形段(MN)对应第三凸起圆弧段(FG)。

4.如权利要求1所述的一种新型真空泵系统，其特征在于，所述两叶转子(9)和三叶转子(10)分别通过第一传动轴和第二传动轴转动连接于中间泵体内，第一传动轴与第二传动轴之间平行设置，且位于第一传动轴和第二传动轴上还设置有传动齿轮副。

5.如权利要求4所述的一种新型真空泵系统，其特征在于，传动齿轮副为一对相互啮合传动的同步直齿轮，且传动比2/3。