[实用新型]具有升降机构的质谱检漏设备

权利要求书

1.一种具有升降机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括：支撑架、真空腔体、升降机构、示踪气体源、质谱检漏装置及控制装置；

所述真空腔体放置在所述支撑架上，所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；

所述升降机构包括连接机构、链条、配重块及气缸，所述连接机构与所述支撑架相连，所述链条与所述连接机构相连，所述链条的一端与所述真空腔体相连，所述链条的另一端与所述配重块相连，所述气缸的一端固定在所述支撑架上，所述气缸的另一端与所述真空腔体相连；

所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；

所述质谱检漏装置与真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的所述示踪气体含量，从而判断所述待测箱体是否合格；

所述控制装置用于控制所述升降机构、示踪气体源及质谱检漏装置工作。

2.如权利要求1所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑架包括第一导轨，所述第一导轨沿着所述支撑架的纵向延伸设置；所述真空腔体一端设置有导向槽，所述第一导轨插设在所述导向槽内。

3.如权利要求1或2所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑架还包括第二导轨，所述第二导轨沿着所述支撑架的纵向延伸设置；所述配重块上固定有第一滑轮及第二滑轮，所述第一滑轮及第二滑轮分别位于所述第二导轨的两侧。

4.如权利要求3所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述配重块设置有若干加重空间，所述加重空间与所述配重块的外表面相连通，所述加重空间用于插入加重块。

5.如权利要求3所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述第二导轨的横截面呈V形，所述第一滑轮所在的平面与所述第二滑轮所在的平面形成的夹角不大于90°，所述第一滑轮与所述第二滑轮夹在所述第二导轨上。

6.如权利要求2所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体固定在所述支撑架上并盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有所述容纳腔；

所述下盖体与所述上盖体活动连接，所述下盖体一端设置有所述导向槽，所述气缸的一端与所述下盖体相连，所述气缸用于推动所述下盖体沿着所述第一导轨上下运动，以使所述上盖体与下盖体盖合在一起或分开。

7.如权利要求6所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座的一端设置有所述导向槽，所述弹性支撑件固定在所述支撑座上，所述支撑板组件放置在所述弹性支撑件上，所述支撑板组件与所述上盖体盖合在一起，所述支撑板组件与所述弹性支撑件之间形成有间隔空间。

8.如权利要求1所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述质谱检漏设备还包括充气机构，所述充气机构包括第一充气支路及第二充气支路，所述第一充气支路包括第一示踪气体供应阀，所述第一示踪气体供应阀的输入端与所述示踪气体源导通连接，所述第一示踪气体供应阀的输出端用于与所述待测箱体导通连接，所述第一示踪气体供应阀用于控制所述示踪气体的第一输出量；

所述第二充气支路包括第二示踪气体供应阀，所述第二示踪气体供应阀的输入端与所述示踪气体源导通连接，所述第二示踪气体供应阀的输出端用于与所述待测箱体导通连接，所述第二示踪气体供应阀用于控制所述示踪气体的第二输出量，所述第二输出量大于所述第一输出量。

9.如权利要求8所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述第一充气支路还包括第一缓冲罐，所述第一缓冲罐与所述示踪气体源及所述第一示踪气体供应阀导通连接，用于暂存所述示踪气体源输送过来的示踪气体以缓冲示踪气体压力波动。

10.如权利要求9所述的具有升降机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述质谱检漏设备还包括快充压力开关，所述示踪气体源包括高压示踪气体罐及示踪气体快充阀；所述示踪气体快充阀的输入端与所述高压示踪气体罐导通连接，所述示踪气体快充阀的输出端与所述第一缓冲罐的输入端及所述第二示踪气体供应阀的输入端导通连接，所述快充压力开关与所述第一缓冲罐的输出端导通连接，用于监测所述第一缓冲罐内的气压并将所述第一缓冲罐内的气压信息传送给所述控制装置；所述控制装置与所述快充压力开关及所述示踪气体快充阀电连接，用于在当所述第一缓冲罐内的气压小于预设值时控制所述示踪气体快充阀打开，以使第一缓冲罐气压保持在预设范围内。