[实用新型]具有气体回收机构的质谱检漏设备

权利要求书

1.一种具有气体回收机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括：真空腔体、气体回收机构、示踪气体源及控制装置；

所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；

所述气体回收机构包括回收气体通断阀、回收真空泵、低压罐及空压机，所述回收气体通断阀的输入端用于与所述待测箱体导通连接，所述回收气体通断阀的输出端与所述回收真空泵导通连接，所述低压罐与所述回收真空泵的输出端及所述空压机的输入端导通连接，所述空压机的输出端与所述示踪气体源导通连接；

所述示踪气体源用于与所述待测箱体导通连接，以向所述待测箱体提供示踪气体；

所述控制装置与所述回收气体通断阀、回收真空泵及空压机电连接，用于控制所述回收气体通断阀、回收真空泵及空压机工作。

2.如权利要求1所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述气体回收机构还包括回收缓冲罐，所述回收气体通断阀的输出端与所述回收缓冲罐导通连接，所述回收缓冲罐与所述回收真空泵的输入端导通连接。

3.如权利要求1所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述气体回收机构还包括补气通断阀及低压罐压力传感器，所述补气通断阀的输入端用于与示踪气体源导通连接，所述补气通断阀的输出端与所述低压罐导通连接；所述低压罐压力传感器与所述控制装置电连接，所述低压罐压力传感器用于检测所述低压罐的气压，以在当所述低压罐的气压小于预设值时打开补气通断阀，以及在当所述低压罐的压力高于预设值时打开所述空压机。

4.如权利要求3所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述气体回收机构还包括过滤减压阀及示踪气体浓度分析装置，所述过滤减压阀的输入端与所述空压机的输出端导通连接，所述过滤减压阀的输出端与所述示踪气体浓度分析装置导通连接。

5.如权利要求1所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述气体回收机构还包括与所述空压机的输出端导通连接的回收气体压力传感器，所述回收气体压力传感器与所述控制装置电连接。

6.如权利要求1所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述质谱检漏设备还包括连接头，所述连接头与所述真空腔体相连并与所述示踪气体源导通连接，用于将所述示踪气体源内的示踪气体导入所述容纳腔中的所述待测箱体内；

所述连接头包括外套管、限位套管、弹性密封套、限位盖及活塞，所述限位套管的一端插设在所述外套管内，所述限位套管的另一端延伸至所述外套管外，所述弹性密封套插设在所述限位套管内，所述限位盖盖设在所述限位套管背向所述外套管的一端，以阻碍所述弹性密封套朝背向所述外套管的方向运动；所述活塞包括中空的塞柱及位于所述塞柱外周面处的阻挡部，所述塞柱的一端活动插设在所述外套管内，所述塞柱的另一端活动插设在所述限位套管内，所述外套管的管壁处设置有导气孔，所述导气孔的一端与所述外套管的外表面相连通，所述导气孔的另一端与所述外套管的内壁面相连通并位于所述阻挡部背向所述弹性密封套的一侧，所述导气孔用于在将压缩气体通过所述导气孔注入所述外套管内时，所述压缩气体推动所述活塞朝所述弹性密封套运动，所述弹性密封套受到所述活塞挤压而变形。

7.根据权利要求6所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括缓冲垫，所述缓冲垫套设在所述塞柱上并位于所述限位套管的端面及所述阻挡部之间；

所述缓冲垫及所述阻挡部均呈环形，所述缓冲垫面向所述阻挡部的端面与所述阻挡部相贴合；当所述弹性密封套受到所述活塞的挤压而呈压缩状态时，所述缓冲垫面向所述限位套管的端面与所述限位套管弹性抵接，当所述弹性密封套完全伸开时，所述缓冲垫面向所述限位套管的端面与所述限位套管间隔预设距离。

8.根据权利要求6所述的具有气体回收机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括固定板、固定座及固定箍，所述固定板固定在所述真空腔体上，所述固定座固定在所述固定板上，所述固定座设置有固定槽，所述外套管插设在所述固定槽内并延伸至所述固定槽外，所述固定箍的两端均固定在所述固定座上并分别位于所述固定槽位置相对的两侧，所述固定箍包覆在所述外套管裸露于所述固定槽外的侧面上。