[实用新型]具有分级充气机构的质谱检漏设备

权利要求书

1.一种具有分级充气机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括：真空腔体、分级充气机构、示踪气体源及控制装置；

所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；

所述分级充气机构包括第一充气支路及第二充气支路，所述第一充气支路包括第一示踪气体供应阀，所述第一示踪气体供应阀的输入端与所述示踪气体源导通连接，所述第一示踪气体供应阀的输出端用于与所述待测箱体导通连接，所述第一示踪气体供应阀用于控制所述示踪气体的第一输出量；

所述第二充气支路包括第二示踪气体供应阀，所述第二示踪气体供应阀的输入端与所述示踪气体源导通连接，所述第二示踪气体供应阀的输出端用于与所述待测箱体导通连接，所述第二示踪气体供应阀用于控制所述示踪气体的第二输出量，所述第二输出量大于所述第一输出量；

所述控制装置与所述第一示踪气体供应阀及所述第二示踪气体供应阀电连接，以控制所述第一示踪气体供应阀及所述第二示踪气体供应阀开启与关闭。

2.如权利要求1所述的具有分级充气机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述第一充气支路还包括第一缓冲罐，所述第一缓冲罐与所述示踪气体源及所述第一示踪气体供应阀导通连接，用于暂存所述示踪气体源输送过来的示踪气体以缓冲示踪气体压力波动。

3.如权利要求2所述的具有分级充气机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述质谱检漏设备还包括快充压力开关，所述示踪气体源包括高压示踪气体罐及示踪气体快充阀；所述示踪气体快充阀的输入端与所述高压示踪气体罐导通连接，所述示踪气体快充阀的输出端与所述第一缓冲罐的输入端及所述第二示踪气体供应阀的输入端导通连接，所述快充压力开关与所述第一缓冲罐的输出端导通连接，用于监测所述第一缓冲罐内的气压并将所述第一缓冲罐内的气压信息传送给所述控制装置；所述控制装置与所述快充压力开关及所述示踪气体快充阀电连接，用于在当所述第一缓冲罐内的气压小于预设值时控制所述示踪气体快充阀打开，以使第一缓冲罐气压保持在预设范围内。

4.如权利要求3所述的具有分级充气机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述质谱检漏设备还包括与所述控制装置电连接的绝压传感器，所述绝压传感器与所述示踪气体快充阀的输出端导通连接，用于监测从所述示踪气体快充阀排出的示踪气体的气压。

5.如权利要求3所述的具有分级充气机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述第一充气支路还包括节流阀，所述节流阀的输入端与第一缓冲罐导通连接，所述节流阀的输出端与所述第一示踪气体供应阀导通连接。

6.如权利要求1所述的具有分级充气机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述质谱检漏设备还包括连接头，所述连接头与所述真空腔体相连并与所述示踪气体源导通连接，用于将所述示踪气体源内的示踪气体导入所述容纳腔中的所述待测箱体内；

所述连接头包括外套管、限位套管、弹性密封套、限位盖及活塞，所述限位套管的一端插设在所述外套管内，所述限位套管的另一端延伸至所述外套管外，所述弹性密封套插设在所述限位套管内，所述限位盖盖设在所述限位套管背向所述外套管的一端，以阻碍所述弹性密封套朝背向所述外套管的方向运动；所述活塞包括中空的塞柱及位于所述塞柱外周面处的阻挡部，所述塞柱的一端活动插设在所述外套管内，所述塞柱的另一端活动插设在所述限位套管内，所述外套管的管壁处设置有导气孔，所述导气孔的一端与所述外套管的外表面相连通，所述导气孔的另一端与所述外套管的内壁面相连通并位于所述阻挡部背向所述弹性密封套的一侧，所述导气孔用于在将压缩气体通过所述导气孔注入所述外套管内时，所述压缩气体推动所述活塞朝所述弹性密封套运动，所述弹性密封套受到所述活塞挤压而变形。

7.根据权利要求6所述的具有分级充气机构的质谱检漏设备，其特征在于，所述连接头还包括缓冲垫，所述缓冲垫套设在所述塞柱上并位于所述限位套管的端面及所述阻挡部之间；

所述缓冲垫及所述阻挡部均呈环形，所述缓冲垫面向所述阻挡部的端面与所述阻挡部相贴合；当所述弹性密封套受到所述活塞的挤压而呈压缩状态时，所述缓冲垫面向所述限位套管的端面与所述限位套管弹性抵接，当所述弹性密封套完全伸开时，所述缓冲垫面向所述限位套管的端面与所述限位套管间隔预设距离。