[实用新型]一种上部电极天板及干法刻蚀设备

权利要求书

1.一种上部电极天板，用于干法刻蚀，其特征在于，所述上部电极天板具有多个拼接块。

2.根据权利要求1所述的上部电极天板，其特征在于，每一所述拼接块具有多个气孔。

3.根据权利要求2所述的上部电极天板，其特征在于，所述多个拼接块上的气孔的数量不完全相同。

4.根据权利要求2或3所述的上部电极天板，其特征在于，每一所述拼接块上的气孔均匀分布。

5.根据权利要求1所述的上部电极天板，其特征在于，所述上部电极天板具有12个拼接块。

6.根据权利要求5所述的上部电极天板，其特征在于，每3个所述拼接块呈三角形分布，所述12个上部电极天板分布在四个区域，所述四个区域构成的图形为矩形。

7.一种干法刻蚀设备，其特征在于，包括：权利要求1～6任一所述的上部电极天板。

8.根据权利要求7所述的干法刻蚀设备，其特征在于，还包括下部电极，以及位于所述上部电极天板和所述下部电极之间的耦合线圈。

9.根据权利要求8所述的干法刻蚀设备，其特征在于，所述耦合线圈分区域设置，耦合线圈所处区域与所述拼接块所处区域相对应。

10.根据权利要求8所述的干法刻蚀设备，其特征在于，还包括：控制器，用于单独控制每一所述拼接块与所述下部电极之间的电场强度。