[实用新型]远红外波宽频探测器

权利要求书

1.一种远红外波宽频探测器，包括基底层；所述基底层上设有氮化镓层；所述氮化镓层上设有源电极、漏电极、氮化铝镓层；所述氮化镓层与氮化铝镓层之间设有硫化镓层；所述氮化铝镓层位于源电极、漏电极之间；所述氮化铝镓层上设有1号天线、2号天线、3号天线、栅极；所述1号天线、2号天线、3号天线呈品字形分布；所述1号天线与2号天线结构一致，都为长方体结构；所述1号天线靠近栅极的侧面设有凹槽；所述2号天线靠近栅极的侧面设有凹槽；所述1号天线的凹槽与2号天线的凹槽相对；所述3号天线为梯形体结构；所述梯形体上表面设有凹槽。

2.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述1号天线的凹槽为贯通凹槽；所述2号天线的凹槽为贯通凹槽；所述3号天线的凹槽为贯通凹槽。

3.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述3号天线表面的凹槽为倒梯形体结构。

4.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述基底层与氮化镓层间设有金属氧物层。

5.根据权利要求4所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述金属氧化物层的厚度为260～330纳米。

6.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述硫化镓层的厚度为1.5～1.8纳米。

7.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述源电极外侧面设有焊点；所述漏电极外侧面设有焊点。

8.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述1号天线凹槽的深度为1号天线长度的5～7%，所述2号天线凹槽的深度为2号天线长度的5～7%，所述3号天线凹槽的深度为3号天线高度的15～18%；所述1号天线凹槽的宽度为1号天线宽度的5～8%，所述2号天线凹槽的宽度为2号天线宽度的5～8%，所述3号天线凹槽的最大宽度为3号天线的最小宽度，最小宽度为3号天线最小宽度的85～88%。

9.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述1号天线的凹槽为方形凹槽，所述2号天线的凹槽为方形凹槽。

10.根据权利要求1所述远红外波宽频探测器，其特征在于，所述氮化镓层的厚度为1.5～1.7微米；所述氮化铝镓层的厚度为35～40纳米。