[实用新型]MEMS加速度计芯片测试装置

权利要求书

1.一种MEMS加速度计芯片测试装置，其组成包括：直线电机与旋转电机，其特征是：所述的直线电机包括一个直线电机轨道（1），所述的直线电机轨道（1）上运行直线电机机身Ⅰ（2）、直线电机机身Ⅱ（3）与直线电机机身Ⅲ（4）；

所述的直线电机机身Ⅰ（2）上设置倒L形支架Ⅰ（5），所述的倒L形支架Ⅰ（5）的两边再通过斜边Ⅰ（6）相连，所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边的截面为梯形，

所述的倒L形支架Ⅰ（5）的顶端横边上设置插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18），所述的插口Ⅱ（18）的外边框设置引导管Ⅰ（19），所述的插口Ⅰ（17）与插口Ⅱ（18）均配合测试针使用；

所述的直线电机机身Ⅱ（3）上设置旋转电机Ⅰ（7）与旋转电机Ⅱ（8），所述的旋转电机Ⅰ（7）的输出轴插入轴承柱Ⅰ（9）的内圈，所述的轴承柱Ⅰ（9）的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ（10），所述的支撑板Ⅰ（10）的上端设置倒L形夹板Ⅰ（11），所述的倒L形夹板Ⅰ（11）与支撑板Ⅰ（10）之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅰ（11）的竖边与横边通过转轴Ⅰ（24）相连接，所述的倒L形夹板Ⅰ（11）的横边开有一组测试针插管Ⅰ（23），所述的测试针插管Ⅰ（23）内也装入测试针；

所述的旋转电机Ⅱ（8）的输出轴插入轴承柱Ⅱ（12）的内圈，所述的轴承柱Ⅱ（12）的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ（13），所述的支撑板Ⅱ（13）的上端设置倒L形夹板Ⅱ（14），所述的倒L形夹板Ⅱ（14）与支撑板Ⅱ（13）之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，所述的倒L形夹板Ⅱ（14）的竖边与横边通过转轴Ⅱ（25）相连接，所述的倒L形夹板Ⅱ（14）的横边开有一组测试针插管Ⅱ（26），所述的测试针插管Ⅱ（26）内也装入测试针，

所述的直线电机机身Ⅲ（4）上设置倒L形支架Ⅱ（15），所述的倒L形支架Ⅱ（15）的两边再通过斜边Ⅱ（16）相连，所述的倒L形支架Ⅱ（15）的顶端横边的截面为梯形；

所述的倒L形支架Ⅱ（15）的顶端横边上设置插口Ⅲ（20）与插口Ⅳ（21），所述的插口Ⅳ（21）的外边框设置引导管Ⅱ（22），所述的插口Ⅲ（20）与插口Ⅳ（21）均配合测试针使用；

所述的倒L形支架Ⅰ（5）与倒L形支架Ⅱ（15）相对设置。

2.根据权利要求1所述的MEMS加速度计芯片测试装置，其特征是：所述的直线电机机身Ⅰ（2）、直线电机机身Ⅱ（3）与直线电机机身Ⅲ（4）均受单片机控制，所述的单片机接收接收模块的信号，所述的接收模块受遥控器控制，

所述的直线电机机身Ⅰ（2）、直线电机机身Ⅱ（3）与直线电机机身Ⅲ（4）将信号传递给反馈模块Ⅰ，所述的反馈模块Ⅰ将信号传递给单片机，所述的单片机接收反馈模块Ⅰ的信号后将信号再传递给旋转电机Ⅰ（7）与旋转电机Ⅱ（8），所述的旋转电机Ⅰ（7）与旋转电机Ⅱ（8）将信号传递给反馈模块Ⅱ，所述的反馈模块Ⅱ将信号传递给单片机。