[实用新型]用于在减薄抛光后进行取片的装置

权利要求书

1.一种用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于包括上端具有开口部的容器和柔性垫片，所述容器中盛装有能够溶解抛光蜡的溶剂，所述柔性垫片的至少局部区域是平展部，所述平展部铺设于所述溶剂内，所述容器开口部的尺寸大于或等于负载于研磨盘上的晶片的直径，但小于所述研磨盘的直径，当将负载有晶片的研磨盘倒置于所述容器上端的开口部上时，所述晶片整体均位于所述容器内的液面下方，但位于所述平展部上方。

2.根据权利要求1所述的用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于：所述晶片通过抛光蜡层与研磨盘连接，并且当将负载有晶片的研磨盘倒置于所述容器上端的开口部上时，所述晶片整体及至少是所述抛光蜡层的局部区域均位于所述容器内的液面下方。

3.根据权利要求2所述的用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于：当将负载有晶片的研磨盘倒置于所述容器上端的开口部上时，所述晶片及抛光蜡层均整体位于所述容器内的液面下方。

4.根据权利要求1所述的用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于：所述上端具有开口部的容器采用结晶皿。

5.根据权利要求1所述的用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于：所述柔性垫片采用无尘纸。

6.根据权利要求1或5所述的用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于：所述柔性垫片整体均平展铺设于所述容器内的液面下方。

7.根据权利要求1所述的用于在减薄抛光后进行取片的装置，其特征在于：所述上端具有开口部的容器被置于一石英缸内。