[实用新型]一种抗PID设备有效

申请号：	201720974691.4	申请日：	2017-08-07
公开（公告）号：	CN207097837U	公开（公告）日：	2018-03-13
发明（设计）人：	崔红星	申请（专利权）人：	九江盛朝欣业科技有限公司
主分类号：	H01L31/0216	分类号：	H01L31/0216;H01L31/18
代理公司：	北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙)11210	代理人：	王珂
地址：	332000 江***	国省代码：	江西;36
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摘要：
搜索关键词：	一种 pid 设备
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【权利要求书】：

1.一种抗PID设备，其特征在于，包括臭氧发生器（1）和箱体（2），所述箱体（2）内部从上至下依次设有臭氧喷淋器（3）、导流板（4）和硅片传送装置（5），所述臭氧喷淋器（3）与所述臭氧发生器（1）连接，所述箱体（2）下部设有臭氧排放管路（8），所述导流板（4）形状为向上凸起的弓形。

2.根据权利要求1所述的一种抗PID设备，其特征在于，所述排放管路（8）上设有风机（9）。

3.根据权利要求1所述的一种抗PID设备，其特征在于，所述排放管路（8）包括与所述箱体（2）底部连接的若干条支路以及与所述若干条支路底部均连接的主路。

4.根据权利要求1所述的一种抗PID设备，其特征在于，所述箱体（2）上开设有与所述硅片传送装置相配合的硅片进口（6）和硅片出口（7）。

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