[实用新型]一种EBSD测试用夹具

权利要求书

1.一种EBSD测试用夹具，其特征在于，所述EBSD测试用夹具包括：

样品台，所述样品台用于承载测试样品；在所述样品台的上部沿所述样品台的轴向设置有向下凹陷的样品容纳部，所述样品容纳部由两个侧壁和一个倾斜的L型底面围绕形成；形成所述倾斜的L型底面的第一内斜底面和第二内斜底面互相垂直，其中所述第一内斜底面与水平方向形成的夹角为70°；

螺柱，所述螺柱固定在所述样品台的底部，该螺柱可拆卸的安装在扫描电子显微镜的样品固定位置处。

2.如权利要求1所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，组成所述样品容纳部的两个侧壁以平行方式设置；该两个侧壁分别为第一侧壁和第二侧壁；

所述样品容纳部的内周面由所述第一侧壁的内壁面、所述第一内斜底面、所述第二侧壁的内壁面、第二内斜底面依次连接围绕组成。

3.如权利要求2所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述第一侧壁的顶部端面由两个互相垂直的端面组成，该两个互相垂直的端面分别为第一外斜面和第二外斜面；

所述第二外斜面紧邻所述第一内斜底面，所述第一外斜面远离所述第一内斜底面，且所述第一外斜面与所述第一内斜底面相互平行。

4.如权利要求3所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述第二侧壁的形状、规格尺寸均与所述第一侧壁相一致。

5.如权利要求3所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述测试样品安装在所述第一外斜面或者第二外斜面上。

6.如权利要求5所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述测试样品的被测面的相对面通过胶体粘接安装在所述第一外斜面上或者第二外斜面上。

7.如权利要求2所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述测试样品安装在所述样品容纳部的内部，且所述测试样品的被测面的相对面紧贴在所述第一内斜底面上。

8.如权利要求7所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，在所述第一侧壁或第二侧壁上设置有多个通孔；

所述通孔的设置方式为从侧壁的外壁面开始贯穿整个侧壁的厚度并延伸至所述样品容纳部内，便于多个紧固件穿过与其一一对应的多个所述通孔进而卡挡固定所述样品容纳部内安装设置的所述测试样品。

9.如权利要求8所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，所述紧固件由螺母和螺杆组成，所述螺杆的长度尺寸根据在所述样品容纳部内的所述测试样品的厚度来进行调整；

所述通孔为螺纹圆孔。

10.如权利要求9所述的EBSD测试用夹具，其特征在于，还包括：垫片，用于固定样品，设置在所述测试样品和所述样品容纳部之间。