[实用新型]基板放置架

权利要求书

1.一种基板放置架，其为由两个侧板和上、下底板连接组成的框架结构，两个所述侧板相对设置，且所述侧板内侧对称设置有多个用于放置基板的限位杆，其特征在于，所述限位杆和所述上底板之间设置有监测装置，所述监测装置用于监测并显示所述基板和用于取放所述基板的叉片的形变量。

2.根据权利要求1所述的基板放置架，其特征在于，所述基板放置架还包括设置于所述限位杆和所述上底板之间的横梁，所述监测装置设置于所述横梁朝向所述下底板的一侧。

3.根据权利要求2所述的基板放置架，其特征在于，所述横梁包括第一横梁和第二横梁，所述监测装置器包括第一距离传感器和第二距离传感器，所述第一横梁朝向所述下底板一侧的两端分别设置有所述第一距离传感器，所述第二横梁朝向下底板一侧的两端分别设置有所述第二距离传感器，

其中，所述第一距离传感器用于根据所述基板的形变量产生第一监测信号，所述第二距离传感器用于根据所述叉片的形变量产生第二监测信号。

4.根据权利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述监测装置还包括相互电连接的处理模块和显示模块，所述处理模块用于根据所述第一监测信号和所述第二监测信号分别得到所述基板和所述叉片的形变量，所述显示模块用于对所述基板和所述叉片的形变量进行显示。

5.根据权利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一距离传感器和所述第二距离传感器可分别沿所在横梁纵向或横向移动预定距离。

6.根据权利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一横梁和所述第二横梁与所述上底板平行设置于同一平面内。

7.根据权利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一横梁和所述第二横梁的数量分别大于等于两个。

8.根据权利要求3所述的基板放置架，其特征在于，所述第一距离 传感器和所述第二距离传感器包括选自光学式位移传感器、线性接近传感器以及超声波位移传感器中的任一种。

9.根据权利要求2所述的基板放置架，其特征在于，还包括供电装置，所述供电装置设置于所述横梁和所述上底板之间，所述供电装置用于分别为所述监测装置提供供电电压。