[实用新型]一种快速获取真空的电子直线加速器

权利要求书

1.一种快速获取真空的电子直线加速器，包括加速管(1)，所述的加速管(1)一端设有一个用于连接真空泵的第一真空泵接口，另一端通过泵连接管(3)连接靶端离子泵(2)，其特征在于，所述的泵连接管(3)上还设有一个用于连接另一个真空泵的第二真空泵接口，所述的电子直线加速器还设有真空自动控制模块，所述的真空自动控制模块分别连接两个真空泵。

2.根据权利要求1所述的一种快速获取真空的电子直线加速器，其特征在于，所述的真空泵接口包括高真空阀门(4)和高真空阀门连接管(5)，所述的高真空阀门(4)上设有用于连接真空泵的排气口(6)，高真空阀门(4)输出端通过高真空阀门连接管(5)连通所述的泵连接管(3)。

3.根据权利要求2所述的一种快速获取真空的电子直线加速器，其特征在于，所述的真空自动控制模块包括真空检测计和控制器，所述的真空检测计连通所述的加速管(1)，所述的控制器分别连接真空检测计和两个真空泵。

4.根据权利要求3所述的一种快速获取真空的电子直线加速器，其特征在于，所述的高真空阀门(4)为三通阀门，所述的真空检测计通过高真空阀门(4)的另一输出端连通所述的加速管(1)。

5.根据权利要求4所述的一种快速获取真空的电子直线加速器，其特征在于，所述的三通阀门为电动三通阀门，所述的电动三通阀门连接所述的控制器。

6.根据权利要求3或5所述的一种快速获取真空的电子直线加速器，其特征在于，所述的控制器包括单片机。