[实用新型]点锡膏固晶一体化装置有效
申请号: | 201720990838.9 | 申请日: | 2017-08-09 |
公开(公告)号: | CN207009415U | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 孔凡伟;段花山;侯祥浩 | 申请(专利权)人: | 山东晶导微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/56 |
代理公司: | 济宁汇景知识产权代理事务所(普通合伙)37254 | 代理人: | 徐国印 |
地址: | 273100 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 点锡膏固晶 一体化 装置 | ||
1.点锡膏固晶一体化装置,包括支架(1)和支柱(2),其特征在于,支架(1)上设置有行走机构(3),行走机构(3)上沿其行走方向平行设置有芯片单元(4)、锡膏单元(5)、框架单元(6),所述芯片单元(4)、锡膏单元(5)、框架单元(6)上方设置有点锡单元(7),所述点锡单元(7)的下端设置有预设数量的点锡针(71),点锡单元(7)通过连接件(72)以沿纵向滑动的方式设置在支柱(2)上。
2.根据权利要求1所述的点锡膏固晶一体化装置,其特征在于,所述行走机构(3)上固定设置有支撑板(31),所述芯片单元(4)、锡膏单元(5)、框架单元(6)通过支撑板(31)平行设置在行走机构(3)上并能够随行走机构(3)做往复运动。
3.根据权利要求2所述的点锡膏固晶一体化装置,其特征在于,所述支撑板(31)上设置有分别与芯片单元(4)、锡膏单元(5)、框架单元(6)相配合的限位销(311)。
4.根据权利要求1或2所述的点锡膏固晶一体化装置,其特征在于,所述芯片单元(4)包括芯片模板(41)以及均匀设置在芯片模板(41)上的用于放置芯片的预设数量的芯片槽(42),所述锡膏单元(5)包括锡膏盘,所述框架单元(6)包括并列设置的框架本体(53)以及分别夹持在框架本体(53)上表面和下表面的上夹具(51)和下夹具(52)。
5.根据权利要求4所述的点锡膏固晶一体化装置,其特征在于,所述芯片槽(42)设置为与点锡针(71)一一对应。
6.根据权利要求4所述的点锡膏固晶一体化装置,其特征在于,所述上夹具(51)上设置有与点锡针(71)相配合的条形通孔(511),条形通孔(511)的位置设置为与预设点锡膏的位置相对应。
7.根据权利要求1所述的点锡膏固晶一体化装置,其特征在于,所述支架(1)上固定设置有侧支架(8),侧支架(8)上固定设置有横支架(9),横支架(9)上设置有垂直于行走机构(3)行走方向的水平滑轨(91),所述支柱(2)以滑动的方式设置在水平滑轨(91)上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造