[实用新型]一种高精度直写曝光镜头有效
| 申请号： | 201720996742.3 | 申请日： | 2017-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN207301620U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;龚田 | 申请（专利权）人： | 苏州微影激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B3/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市千纳专利代理有限公司44218 | 代理人： | 黄良宝 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 曝光 镜头 | ||
【权利要求书】：
1.一种高精度直写曝光镜头，包括上曝光镜头、下曝光镜头以及连接上下曝光镜头的连接件，上曝光镜头连接有光束整形镜头，上曝光镜头顶部设有DMD芯片，其特征在于，连接件包括连接筒，连接筒内设有内沿，内沿将连接筒划分为用于容纳上曝光镜头的上腔以及用于容纳下曝光镜头的下腔，内沿上设有用于将方形光斑缩小为圆形光斑的MLA微透镜。
2.根据权利要求1所述的高精度直写曝光镜头，其特征在于：所述MLA微透镜由若干个透镜单元矩形阵列形成，每个透镜单元为带矩形基座的凸透镜。
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