[实用新型]涡轮分子泵减震器有效
| 申请号： | 201721002252.3 | 申请日： | 2017-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN207621234U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 戴晓鹏 | 申请（专利权）人： | 上海锆智电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F16F3/12 | 分类号： | F16F3/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 涡轮分子泵 减震器 本实用新型 法兰 扫描电子显微镜 不锈钢波纹管 橡胶填充物 样品室 筒体 减震 安装固定 密封联接 运转过程 装配过程 震动 传递 | ||
【权利要求书】：
1.一种涡轮分子泵减震器，其特征在于，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：
法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；
筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；
不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；
橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；
筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与法兰二和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；
法兰二，材料为316L不锈钢，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。
2.根据权利要求1所述的涡轮分子泵减震器，其特征在于，所述橡胶填充物与不锈钢波纹管是采用一次性整体浇铸成型的。
3.根据权利要求1所述的涡轮分子泵减震器，其特征在于，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型。
4.根据权利要求1所述的涡轮分子泵减震器，其特征在于，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型。
5.根据权利要求1所述的涡轮分子泵减震器，其特征在于，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。
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