[实用新型]一种石墨舟硅片批量吸取装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能硅片制造领域，特别涉及一种石墨舟硅片批量吸取装置。

背景技术

石墨舟即石墨模具，是一种载体，它可以把我们需要定位或定型的原材料和零部件一起放于石墨模具中高温烧结成型。

太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，在这个工序需要用到石墨舟，其工作原理为：将未镀膜的硅片放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。

在上述工序中，需要对硅片进行多次批量吸取作业，在现有技术中，仍采用由人工操作的生产方式，生产效率受到一定限制，同时硅片容易在插片及取片过程中受到不同程度的污染及划伤，影响产品质量。有鉴于此，实有必要开发一种石墨舟硅片批量吸取装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的目的是提供一种石墨舟硅片批量吸取装置，可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。

为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种石墨舟硅片批量吸取装置，包括：

吸盘组件；以及

用于将吸盘组件锁紧固定的紧固组件，

其中，吸盘组件包括若干片吸盘，相邻两片吸盘相互平行且间隔一定距离以形成位于两者之间的吸取空间。

优选的是，吸盘沿其纵轴方向开设有至少3条吸嘴容纳槽，每条容纳通槽中均设有吸嘴组件。

优选的是，吸嘴组件包括：

吸嘴；以及

与吸嘴相连通的吸管，其用于将吸嘴内部抽真空的吸管。

优选的是，容纳槽的末端连通地设有吸嘴通槽，吸嘴位于吸嘴通槽中。

优选的是，吸嘴通槽的边缘连通地设有至少3条弹簧通槽，每条弹簧通槽中均设有平衡弹簧，其中，平衡弹簧的一端与吸盘相连接，另一端与吸嘴的边缘相连接。

优选的是，紧固组件包括：

至少一根紧固杆；

固定板；以及

固接于固定板下表面的左紧固板与右紧固板，

其中，左紧固板与右紧固板相互平行且间隔设置以形成位于两者之间的安装空间，所述安装空间中设有若干片用于安装吸盘的安装板，紧固杆从左至右依次将左紧固板、安装板、及右紧固板串联起来并将三者锁定紧固。

优选的是，安装板的数目与吸盘的数目相同。

优选的是，安装板的其中一侧开设有指状的安装槽，安装槽设有至少4条相互平行的指端，相邻两条指端间形成有与吸嘴容纳槽的顶端相匹配的安装凸台。

优选的是，安装板内部开设有通往安装凸台的气路，所述气路的吸气口连通有吸气嘴，所述气路的抽气口通过抽气嘴与吸管相连通。

本实用新型与现有技术相比，其有益效果是：可实现硅片转移过程中的批量硅片吸取，同时能消吸盘对硅片表面的划伤及压迫造成的损坏，提高了生产效率的同时提高了成品率。

附图说明

图1为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置的立体图；

图2为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置的正视图；

图3为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置的左视图；

图4为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘的左视图；

图5为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘的正视图；

图6为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘与安装板相配合的立体图；

图7为根据本实用新型所述的石墨舟硅片批量吸取装置中吸盘与安装板的爆炸视图。

具体实施方式