[实用新型]一种基于石墨烯压阻结的压力传感器

权利要求书

1.一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述传感器包括：

一个封装外壳，所述封装外壳内部上下两端分别设置有一个陶瓷基座及一个基片，所述陶瓷基座、所述基片及所述封装外壳共同界定一个检测空间，所述基片上侧为一个凹形结构，所述凹形结构底部为膜片结构；

一个检测单元，所述检测单元设置在所述检测空间内，所述检测单元包括两个石墨烯压阻结，所述石墨烯压阻结包括氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜及复合电极，两个所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜对称地布置在所述膜片结构边缘应力最大处，所述复合电极接设于所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜上；

所述检测空间为一个能够将氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜与外部空气隔离的无氧真空腔。

2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，在所述基片的下侧面外周侧通过金属键合在所述陶瓷基座上侧面，所述陶瓷基座、膜片及密封环构成所述无氧真空腔。

3.根据权利要求2所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述封装外壳与陶瓷基座相连并粘结牢固。

4.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，两个所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜与外部电阻连通构成惠斯通电桥。

5.根据权利要求2所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜由上层氮化硼层、下层氮化硼层及夹在其中的单层石墨烯组成。

6.根据权利要求5所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述复合电极依次通过互连凸点、互连焊盘及引线柱连接外部检测组件；

所述复合电极、所述密封环与所述基片之间均相应的设置有阻挡层。

7.根据权利要求6所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼纳米薄膜的上层氮化硼层及石墨烯层贴覆在所述复合电极的上侧面，下层氮化硼层两端与所述阻挡层相互接触。

8.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯压阻结的压力传感器，其特征在于，所述无氧真空腔内可填充惰性、热膨胀系数较小的气体。