[实用新型]一种自适应工业现场协议的脉冲电源

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜溅射供电领域，特别是一种自适应工业现场协议的脉冲电源。

背景技术

目前的溅射镀膜领域中，一般采用脉冲电源进行供电，因为脉冲(峰值)电流可以使金属离子在极高的过电位下还原，从而使沉积层晶粒变细；当电流关断时，阴极区附近放电离子又恢复到初始浓度，浓差极化消除，这利于下一个脉冲同期继续使用高的脉冲(峰值)电流密度，同时关断期内还伴有对沉积层有利的重结晶、吸脱附等现象。

但是目前的脉冲电源一般还需要人工进行操作启动，而自动化生产控制是目前生产领域的主流，如何方便地连接到工业网中是目前迫切需要解决的问题。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型的目的在于提供一种能自动适应现有工业网协议的自适应工业现场协议的脉冲电源。

本实用新型解决其问题所采用的技术方案是：

一种自适应工业现场协议的脉冲电源，包括交流输入端、整流滤波电路、升压逆变模块、可控硅调压器和DSP主板，所述交流输入端、整流滤波电路、升压逆变模块依次连接，可控硅调压器的调压控制端与DSP主板连接，还包括脉冲输出电路和脉冲输出端，所述可控硅调压器的输出端通过脉冲输出电路与脉冲输出端连接，所述DSP主板与脉冲输出电路的控制端连接；

还包括RS485端口，所述RS485端口与DSP主板的通信端口连接，所述RS485端口与DSP主板之间设置有用于获取协议类型的协议检测端，所述协议检测端与DSP主板连接，还包括选择开关、协议转换器，所属选择开关的控制端与DSP主板连接，选择开关的第一选择通路连通协议检测端与DSP主板，选择开关的第二选择通路连通协议检测端与协议转换器，所述协议转换器与DSP主板连接。

进一步，所述脉冲输出电路包括第二整流模块、储能电容、输出变压器和脉冲控制晶体管，所述可控硅调压器的电压输出端通过第二整流模块连接储能电容，所述储能电容的正极通过输出变压器的初级绕组与脉冲控制晶体管的一端连接，脉冲控制晶体管的另一端与储能电容的负极连接，还包括晶体管驱动电路，所述DSP主板通过晶体管驱动电路与脉冲控制晶体管的控制端连接，所述输出变压器的次级绕组与脉冲电源输出端连接。

进一步，所述整流滤波电路包括第一整流模块和EMI滤波电路，所述交流输入端、EMI滤波电路和升压逆变模块依次连接。

进一步，所述升压逆变模块包括升压变压器、升压管理芯片和由两个振荡晶体管Q1组成的升压控制电路，所述升压变压器的次级绕组输出端与可控硅调压器连接，所述升压变压器初级绕组两端分别通过振荡晶体管Q1连接至第一整流模块的负极端，所述第一整流模块正极端连接至升压变压器初级绕组的中部，所述升压变压器的控制端与DSP主板连接。

进一步，所述第一整流模块为可控整流模块，其控制端通过一监控电路与DSP主板连接。

本实用新型的有益效果是：本实用新型采用的一种自适应工业现场协议的脉冲电源，DSP主板通过RS485端口连接到工业网中，为了适应工业网中的不同总线协议，设置协议检测端检测协议的类型，并根据协议类型相应控制选择开关连接协议转换器将目前的工业网总线协议转换为DSP主板能够识别的现场总线协议，本实用新型的脉冲电源可以连接到工业网中使用并具备良好的适用性，有助于实现镀膜溅射设备的自动化控制。

附图说明

下面结合附图和实例对本实用新型作进一步说明。

图1是本实用新型的电路原理图。

具体实施方式

参照图1，本实用新型的一种自适应工业现场协议的脉冲电源，包括交流输入端11、整流滤波电路1、升压逆变模块2、可控硅调压器和DSP主板，所述交流输入端11、整流滤波电路1、升压逆变模块2依次连接，可控硅调压器的调压控制端与DSP主板连接，还包括脉冲输出电路4和脉冲输出端，所述可控硅调压器的输出端通过脉冲输出电路4与脉冲输出端连接，所述DSP主板与脉冲输出电路4的控制端连接；

还包括RS485端口，所述RS485端口与DSP主板的通信端口连接，所述RS485端口与DSP主板之间设置有用于获取协议类型的协议检测端6，所述协议检测端6与DSP主板连接，还包括选择开关7、协议转换器，所属选择开关7的控制端与DSP主板连接，选择开关7的第一选择通路连通协议检测端6与DSP主板，选择开关7的第二选择通路连通协议检测端6与协议转换器，所述协议转换器与DSP主板连接。