[实用新型]一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源有效
申请号: | 201721015758.8 | 申请日: | 2017-08-14 |
公开(公告)号: | CN207038478U | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 陈利军;郑启发;王小军 | 申请(专利权)人: | 湖南众源电子科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/248 | 分类号: | H01J37/248;C23C14/35 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人: | 伍传松 |
地址: | 410600 湖南省长沙*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 主动 电弧 抑制 技术 中频 等离子 电源 | ||
1.一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:包括整流滤波电路(100)、开关变换器主电路(200)、输出变压器(300)、用于连接等离子体炉的端口(400)、电弧电路(500)、用于产生PWM控制信号的PWM信号电路(600)、驱动电路(700)和辅助电源电路(800),所述电弧电路(500)包含用于检测电弧的电弧检测电路(520)和用于处理电弧的电弧处理电路(540);所述整流滤波电路(100)、开关变换器主电路(200)、输出变压器(300)和端口(400)依次连接,所述输出变压器(300)的输出端还依次通过电弧检测电路(520)、电弧处理电路(540)、PWM信号电路(600)和驱动电路(700)连接至开关变换器主电路(200)的输入端,所述辅助电源电路(800)的输出端还分别连接至PWM信号电路(600)和驱动电路(700)的输入端。
2.根据权利要求1所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述电弧检测电路(520)包含电弧电压检测电路(521);所述电弧电压检测电路(521)的输入端连接至输出变压器(300)的输出端,所述电弧电压检测电路(521)的输出端连接至电弧处理电路(540)的输入端。
3.根据权利要求1所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述电弧检测电路(520)包含电弧电流检测电路(522);所述电弧电流检测电路(522)的输入端连接至输出变压器(300)的输出端,所述电弧电流检测电路(522)的输出端连接至电弧处理电路(540)的输入端。
4.根据权利要求1所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述电弧电路(500)还包含用于设置电弧敏感度的电弧敏感度设置电路(510);所述输出变压器(300)和电弧检测电路(520)之间还通过电弧敏感度设置电路(510)连接。
5.根据权利要求4所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述电弧敏感度设置电路(510)包含电弧电压敏感度设置电路(511);所述输出变压器(300)和电弧检测电路(520)之间还通过电弧电压敏感度设置电路(511)连接。
6.根据权利要求4所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述电弧敏感度设置电路(510)包含电弧电流敏感度设置电路(512);所述输出变压器(300)和电弧检测电路(520)之间还通过电弧电流敏感度设置电路(512)连接。
7.根据权利要求1所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述电弧电路(500)还包含用于设置切断脉冲持续时间的脉冲切断时间设置电路(530);所述电弧检测电路(520)和电弧处理电路(540)之间还通过脉冲切断时间设置电路(530)连接。
8.根据权利要求7所述的一种基于主动电弧抑制技术的中频等离子电源,其特征在于:所述脉冲切断时间设置电路(530)中的切断脉冲持续时间的选择设置范围是0-440us。
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