[实用新型]一种易燃品安全加热装置

说明书

技术领域

本实用新型属于半导体清洗技术领域，具体涉及一种易燃品安全加热装置。

背景技术

半导体制造中会用到酒精等易燃品清洗剂，清洗剂需要达到一定的温度，需要对易燃品进行加热，当前市场上针对酒精等易燃品的加热主要有两种方式，一种是电阻直接加热，另外一种是水浴加热。电阻直接加热的方式，加热效率高，但是加热不均匀，并且电热直接作用，局部过热、电火花等易引起火灾等安全隐患。传统水浴加热，多采用开放式水浴加热，热效率低，如果水浴温度过高，蒸发出来的水蒸气又极易溶于酒精等物质内，影响被加热物质的品质，严重可造成物质失效，部分加热装置依然靠近酒精等化学品，没有完全排除火灾隐患。因此需要研发一种可克服酒精等易燃品加热易燃的安全隐患问题，解决当前水浴加热效率低和影响易燃品品质的问题。

因此，急需一种安全性好，加热效率高，不影响易燃品品质的易燃品安全加热装置。

实用新型内容

为了解决现有加热装置易引起安全隐患，加热效率低的问题，本实用新型的目的是提供一种易燃品安全加热装置，具有安全性好，加热效率高，不影响易燃品品质的优点。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种易燃品安全加热装置，包括换热槽、易燃品槽、第一槽盖、第二槽盖、螺旋导流板、出水口和进水口，所述易燃品槽固定在所述换热槽内，所述易燃品槽的槽壁与所述换热槽相应的槽壁均间隙相隔，所述易燃品槽上设有可与其密闭连接的所述第一槽盖，所述换热槽和所述易燃品槽的间隔部分上设有可与其密闭连接的所述第二槽盖，所述换热槽和所述易燃品槽的间隔部分内设有所述螺旋导流板，所述螺旋导流板两侧分别固定在所述换热槽外壁和所述易燃品槽内壁上，所述换热槽的侧壁上部设有所述出水口，所述换热槽的侧壁下部设有所述进水口，所述进水口和所述出水口之间通过所述螺旋导流板形成螺旋通道。

所述换热槽内设有螺旋通道，热水可从底部所述进水口进入，从顶部所述出水口流出，确保加热的均匀性，提高加热效率，所述换热槽和所述易燃品槽都是全密封的，杜绝水蒸气对易燃品的品质影响。

优选的，所述换热槽的一侧还设有热水槽，所述热水槽和所述换热槽之间设有进水管道和出水管道，所述进水管道的一端固定在所述进水口处，所述进水管道的另一端延伸至所述热水槽内，所述热水槽和所述换热槽通过所述进水管道内部相连通，所述进水管道上设有循环泵，所述出水管道的一端固定在所述出水口处，所述出水管道的另一端延伸至所述热水槽内，所述热水槽和所述换热槽通过所述出水管道内部也相连通。所述热水槽和所述换热槽是相互独立的，依靠所述进水管道和所述出水管道连通，实现了热和电隔离，热水依靠所述循环泵从所述热水槽供给循环，安全性好，杜绝火灾隐患。

优选的，所述进水管道上还设有控制阀，所述控制阀设置在所述循环泵和所述进水口之间。所述控制阀的设置是控制热水流量。

优选的，所述易燃品槽的高度低于所述换热槽的高度。所述易燃品槽可以置于热水中，加热效果更好。

优选的，所述易燃品槽的槽壁与所述换热槽相应的槽壁间隔距离均相等，使受热更均匀。

本实用新型的有益效果是：

1、换热槽内设有螺旋通道，热水可从底部进水口进入，从顶部出水口流出，确保加热的均匀性，提高加热效率。

2、换热槽和易燃品槽都是全密封的，杜绝水蒸气对易燃品的品质影响。

3、热水槽和换热槽是相互独立的，依靠进水管道和出水管道连通，实现了热和电隔离，热水依靠循环泵从热水槽供给循环，安全性好，杜绝火灾隐患。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型换热槽放大主视图；

图3是本实用新型换热槽放大左视图；

图中标记为：1、换热槽；2、易燃品槽；3、第一槽盖；4、第二槽盖；5、螺旋导流板；6、出水口；7、进水口；8、出水管道；9、进水管道；10、热水槽；11、循环泵；12、控制阀。

具体实施方式

下面结合附图描述本实用新型的具体实施方式。