[实用新型]一种电子引出扫描盒结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及核技术应用领域，尤其是电子束辐照加工领域，具体为一种电子引出扫描盒结构。

背景技术

电子束辐照技术是利用在高压电场中加速后的电子射线照射物质，通过高能电子与物质的相互作用来电离和激励各种物质的分子，从而引发化学反应，以改善材料的性能或生成新材料。目前，电子束辐照技术已广泛应用于高分子材料、半导体材料、无机材料和金属材料的改性和研发，以及杀菌、消毒等相关技术和产品的开发，并取得了较好的技术效果。而电子加速器作为电子束辐照技术的主要设备，对于其发展具有至关重要的作用。

电子加速器用于辐照加工时，一般需要将小尺寸截面的电子束扫描展宽成长条形带状束，然后对大尺寸材料进行辐照加工。通常情况下，扫描展宽的角度在15~30度之间，角度过小，扫描盒比较高，尺寸大；角度过大，边缘电子束经过引出窗膜时，电子束损失大，膜上沉积的能量大，发热严重，寿命短。对于超大尺寸的材料，需要电子束展宽范围大，扫描盒积会变得很大，重量也重，对应的各种成本大幅度增加。

因此，迫切需要一种新的装置，以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的发明目的在于：针对采用现有电子加速器对大尺寸或超大尺寸材料进行辐照时，采用扫描方式将电子束展宽到大于被辐照材料的尺寸。展宽电子束时，如果扫描偏转的角度过小，会导致扫描盒的高度较高，扫描盒积增加，重量大幅上升的问题；如果扫描偏转的角度过大，会导致边缘电子束在隔离膜上的损失过大，隔离膜上沉积的热量大，发热严重，寿命短。本实用新型采用多个扫描盒并联的结构，在不增加扫描盒总高度的前提下，实现电子束大尺寸展宽，同时，为了提高辐照的均匀性，相邻扫描盒的展宽电子束边缘相互交叉，通过调节相邻扫描盒之间的中间挡块，调整吸收交叉区域电子束的数量，从而控制交叉区域的辐照剂量，得到整体均匀性满足需要的大尺寸电子束。该结构中，采用n个依次排列的扫描盒，n-1个中间挡块，其中，n为自然数，且n≥2。采用该结构，单个扫描盒内部为独立真空系统，多个扫描盒经中间挡块依次相互配合，得到具有良好辐照剂量均匀性的超宽电子引出扫描盒结构。本实用新型构思巧妙，结构简单，具有较好的应用前景。

本发明公开了一种用于电子束辐照加工的扫描盒并联结构，在降低扫描盒总高度的情况下，用多个扫描盒并联，得到需要长度的展宽电子束，各个扫描盒引出的电子束边缘相互交叉重叠，通过控制重叠区域的辐照剂量，得到整体均匀性满足需要的超宽电子束。

为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种电子引出扫描盒结构，包括n个依次排列的扫描盒、中间挡块，所述n为自然数，且n≥2，所述中间挡块的数量为n-1个；

所述扫描盒排列在一条直线上，所述扫描盒包括扫描盒主体、扫描磁铁、隔离膜，所述扫描磁铁设置在扫描盒主体上端且扫描磁铁能对电子束进行扫描展宽，所述隔离膜设置在扫描盒主体下端；所述中间挡块设置在相邻两个扫描盒之间。

所述中间挡块设置在相邻两个扫描盒的电子束重叠区域内。

所述中间挡块能上下左右进行位置调整。

所述中间挡块内设置有冷却装置，及时带走电子束沉积的热量。

针对前述问题，本申请提供一种电子引出扫描盒结构。现有结构设计中，增加电子束展宽范围，导致扫描盒高度增加，对安装空间要求增加。如果采用增大扫描角的方式，会导致边缘电子束的发散度增加，进而导致材料辐照剂量不均匀。同时，现有结构中，扫描盒的下端设置有一层隔离膜，当角度增加后，沉积在膜上的能量也就会增加，损失也会更大，进而导致材料辐照剂量不均匀。为此，与现有电子加速器采用单个扫描盒不同，本申请采用多个扫描盒并联的结构，同时，为了提高扫描盒辐照的均匀性，本申请在相邻两个扫描盒之间设置中间挡块，通过中间挡块的调节作用，使得辐照物吸收剂量的均匀性满足要求。该结构中，采用n个依次排列的扫描盒，n-1个中间挡块，其中，n为自然数，且n≥2。进一步，扫描盒包括扫描盒主体、扫描磁铁、隔离膜，扫描磁铁设置在扫描盒主体上端且扫描磁铁能对电子束进行扫描展宽，隔离膜设置在扫描盒主体下端且能使扫描盒内部构成真空系统。采用该结构，单个扫描盒内部为独立真空系统，多个扫描盒经中间挡块依次相互配合，得到具有良好辐照剂量均匀性的超宽电子引出扫描盒结构。