[实用新型]一种电子引出扫描盒并联结构有效
申请号: | 201721039872.4 | 申请日: | 2017-08-18 |
公开(公告)号: | CN207460576U | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 李琦;贾朝伟;曾利;罗德坤 | 申请(专利权)人: | 四川智研科技有限公司 |
主分类号: | H05H7/00 | 分类号: | H05H7/00 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 沈强 |
地址: | 621000 四川省绵阳*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 扫描盒 电子束 本实用新型 并联结构 偏转 辐照设备 隔离膜 扫描 边缘电子束 电子加速器 辐照 尺寸材料 辐照材料 扫描方式 体积增加 并联 沉积 发热 | ||
1.一种电子引出扫描盒并联结构,其特征在于,包括n个扫描盒、n-1个中间挡块,所述n为自然数,且n≥2;
所述扫描盒包括扫描盒体、扫描磁铁、隔离膜,所述扫描磁铁设置在扫描盒体上端且扫描磁铁能对电子束进行扫描展宽,所述隔离膜设置在扫描盒体下端;
所述扫描盒依次并联设置,相邻两个扫描盒之间依次前后错位排列,所述中间挡块设置在相邻两个扫描盒之间,所述中间挡块位于盒体下方且中间挡块位于相邻两个扫描盒的电子束重叠区域内。
2.根据权利要求1所述电子引出扫描盒并联结构,其特征在于,所述扫描盒体沿竖直方向的剖面呈梯形。
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