[实用新型]一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置有效
| 申请号： | 201721043369.6 | 申请日： | 2017-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN207224320U | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;傅林坚;沈文杰;马旭;卢嘉彬;邱文杰;陈志聪;张航 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司33212 | 代理人： | 朱莹莹,周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶棒切方 设备 压紧 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置，其特征在于：包括支撑头座，所述支撑头座外套有主压头，浮动压头波纹管和气缸安装座；所述浮动压头波纹管两端分别与主压头和气缸安装座连接；所述主压头以接触表面为球面的形式与支撑头座端部紧密接触；所述气缸安装座安装在支撑头座上，所述气缸安装座上安装有边皮压紧气缸，所述边皮压紧气缸设有四个，分别分布在气缸安装座四周；所述每一个边皮压紧气缸上安装有边皮压头。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置，其特征在于：所述主压头内嵌有主压头内嵌铜套，该主压头内嵌铜套与支撑头座端部以接触表面为球面的形式紧密接触。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置，其特征在于：在主压头四周安装有在切方过程中用于压紧边皮的气缸。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶棒切方设备的晶棒压紧装置，其特征在于：在主压头内部安装有主压头内嵌铜套。
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