[实用新型]石英舟用减震推车有效

专利信息
申请号: 201721044888.4 申请日: 2017-08-18
公开(公告)号: CN207052618U 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 袁华斌;符亮;王晨;贡江涛 申请(专利权)人: 常州亿晶光电科技有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L21/673
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 代理人: 郑云
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 石英 减震 推车
【权利要求书】:

1.一种石英舟用减震推车,其特征在于:包括车体(1),所述车体(1)的上表面为车载面(2),所述车载面(2)上固定安装有减震装置,若干所述减震装置的位置设置对应石墨舟上舟角的位置设置,若干所述减震装置中位于石墨舟移动方向两端的减震装置上设置有限位装置;

所述减震装置包括载体(3)和缓冲板(4),所述载体(3)固定安装在所述车载面(2)上,所述缓冲板(4)固定安装在所述载体(3)上,所述限位装置包括围板(5)和缓冲板(4),所述围板(5)围布在所述载体(3)外,所述缓冲板(4)固定安装在围板(5)的内表面上。

2.如权利要求1所述的石英舟用减震推车,其特征在于:所述围板(5)上开设有开口(6),石英舟移动方向两端的围板(5)上的开口(6)相对设置。

3.如权利要求1所述的石英舟用减震推车,其特征在于:所述载体(3)与所述围板(5)的材料均为硬质材料。

4.如权利要求1所述的石英舟用减震推车,其特征在于:所述缓冲板(4)的材料为弹性材料。

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