[实用新型]一种MEMS微热板

权利要求书

1.一种MEMS微热板，其特征在于，包括：

硅基衬底，所述硅基衬底包括测量区域和加热区域；

第一介电层，位于所述硅基衬底的上表面；

加热电极和测量电极，所述加热电极和所述测量电极同层绝缘设置且均位于所述第一介电层上，所述加热电极对应设置在所述加热区域，以及所述测量电极对应设置在所述测量区域；

隔热凹槽，位于所述硅基衬底的下表面且贯穿所述硅基衬底，以及所述隔热凹槽的槽底在垂直于所述硅基衬底的方向上覆盖所述加热区域。

2.根据权利要求1所述的MEMS微热板，其特征在于，还包括：

第二介电层，位于所述加热电极和所述测量电极所在膜层上，以及所述第二介电层在对应所述测量电极的区域的表面与所述测量电极的表面平齐以露出所述测量电极的表面。

3.根据权利要求1所述的MEMS微热板，其特征在于，所述测量电极和所述加热电极的组成材料均为金属铂，所述测量电极和所述加热电极的厚度均为100nm～400nm。

4.根据权利要求1所述的MEMS微热板，其特征在于，所述加热区域围绕所述测量区域以及所述加热区域包括引线导出区域，所述测量电极的测量电极引线从所述引线导出区域引出。

5.根据权利要求4所述的MEMS微热板，其特征在于，所述加热区域划分为呈第一对角线设置的第一角落区域和第二角落区域、呈第二对角线设置的第三角落区域和第四角落区域、以及剩余加热区域，其中，所述第一对角线和所述第二对角线交叉设置，所述剩余加热区域围绕所述测量区域。

6.根据权利要求5所述的MEMS微热板，其特征在于，位于所述第一角落区域～所述第四角落区域中任一角落区域的加热电极具有至少一个开口。

7.根据权利要求5所述的MEMS微热板，其特征在于，位于所述第一角落区域～所述第四角落区域中任一角落区域的加热电极的线宽小于位于所述剩余加热区域的加热电极的线宽。

8.根据权利要求5所述的MEMS微热板，其特征在于，所述剩余加热区域的加热电极具有至少一个开口。

9.根据权利要求5-8任一项所述的MEMS微热板，其特征在于，所述第一角落区域～所述第四角落区域中任一角落区域的面积占据所述加热区域和所述测量区域的总区域面积的5％～50％。