[实用新型]适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件

权利要求书

1.适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，包括有支架，其特征在于：所述支架为矩形支架(1)，所述矩形支架(1)通过若干缓冲组件，连接有上位平台(2)。

2.根据权利要求1所述的适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其特征在于：所述缓冲组件包括有圆柱缓冲减震器(3)，所述圆柱缓冲减震器(3)的上下两端均设置有定位片(4)，所述定位片(4)上设置有连接螺杆(5)。

3.根据权利要求2所述的适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其特征在于：所述圆柱缓冲减震器(3)为柱状橡胶，或是为弹簧套筒。

4.根据权利要求1所述的适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其特征在于：所述矩形支架(1)，向内延伸设置有延展条(6)，所述缓冲组件设置有延展条(6)上。

5.根据权利要求1所述的适用于晶圆厂内天车搬运系统下货的减震组件，其特征在于：所述上位平台(2)上设置有用于缓冲组件连接的衔接孔，所述衔接孔上安装有锁紧螺母，所述上位平台(2)还设置有用于其他器械定位的定位孔(7)。