[实用新型]具有零件磨损指示器的腔室部件和等离子体处理腔室

权利要求书

1.一种具有零件磨损指示器的腔室部件，其特征在于，所述腔室部件包括：

部件主体，具有顶表面和底表面；以及

零件磨损指示器，具有设置在所述部件主体中的指示器主体，所述指示器主体包括：

透明的第一层；以及

第二层，包括示踪材料，其中所述第一层比所述第二层更靠近所述顶表面。

2.如权利要求1所述的腔室部件，其特征在于，所述示踪材料可由电磁能量激发，并且在取决于所述示踪材料的组合物的频率下辐射能量。

3.如权利要求1所述的腔室部件，其特征在于，所述示踪材料与环氧树脂混合。

4.如权利要求1所述的腔室部件，其特征在于，所述示踪材料包括：

与环氧树脂混合的磷光体。

5.如权利要求1所述的腔室部件，其特征在于，所述示踪材料包括：

上转换材料。

6.如权利要求5所述的腔室部件，其特征在于，所述上转换材料是从由NaY1.54Yb0.40Er0.06F5O、NaY0.77Yb0.20Er0.03F4和NaY0.77Yb0.20Tm0.03F4组成的组中选择的一或多种材料。

7.如权利要求6所述的腔室部件，其特征在于，所述上转换材料的制剂被混合以形成唯一可识别的发射波长。

8.如权利要求1所述的腔室部件，其特征在于，所述零件磨损指示器为材料的环形层或材料的分立插件。

9.如权利要求1所述的腔室部件，其特征在于，所述部件主体形成环、衬里、喷头、ESC或气体分配板。

10.一种等离子体处理腔室，其特征在于，所述等离子体处理腔室包括：

腔室主体，具有内部空间；

基板支撑件，设置在所述内部空间中；

能量源；

传感器；

第一腔室部件，设置在所述腔室主体的所述内部空间中，所述第一腔室部件包括：

部件主体，具有顶表面和底表面；以及

零件磨损指示器，具有设置在所述部件主体中的指示器主体，所述指示器主体包括：

透明的第一层；以及

第二层，包括示踪材料，其中所述第一层比所述第二层更靠近所述顶表面，所述示踪材料当由来自所述能量源的能量激发时辐射可由所述传感器检测的能量。

11.如权利要求10所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述等离子体处理腔室进一步包括：

第二腔室部件，具有第二零件磨损指示器。

12.如权利要求11所述的等离子体处理腔室，其特征在于，设置在所述第一腔室部件中的所述示踪材料在与设置在所述第二腔室部件中的示踪材料不同的频率下辐射能量。

13.如权利要求10所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述示踪材料包括：

磷光体。

14.如权利要求10所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述示踪材料包括：

上转换材料。

15.如权利要求14所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述上转换材料是从由NaY1.154Yb0.40Er0.06F5O、NaY0.77Yb0.20Er0.03F4和NaY0.77Yb0.20Tm0.03F4组成的组中选择的一或多种材料。

16.如权利要求14所述的等离子体处理腔室，其特征在于，所述第一腔室部件为环、衬里、喷头、ESC或气体分配板。