[实用新型]一种高精度压差传感器

权利要求书

1.一种高精度压差传感器，其包括下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座、隔离片、正压感应片、中间固定片和负压感应片，所述下壳座、上壳座、正压腔座、负压腔座组成传感器壳体，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔的外侧均设置有隔离片，所述下壳座和上壳座之间设置有与正压通道孔垂直的所述正压感应片和负压感应片，所述正压感应片和负压感应片之间的中间位置设置有中间固定片，所述正压感应片与所述中间固定片构设成正极电容，所述负压感应片与所述中间固定片之间构设为负极电容，其特征在于，所述正压腔座的内侧和负压腔的内侧均设置有相互独立的油腔，所述正压腔座的正压通道孔和负压腔座的负压通道孔均与各自的油腔连通，所述油腔的体积大小为正压通道孔总容积大小的3-5倍，所述正压通道孔总容积大小和负压腔座的负压通道孔的总容积大小相等。

2.根据权利要求1所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述上壳座的内壁上固定设置有导线座，所述导线座上固定设置有感应导线，所述感应导线分别与正压感应片、中间固定片和负压感应片连接。

3.根据权利要求2所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述上壳座上设置有接头保护壳，所述感应导线设置在接头保护壳内。

4.根据权利要求1所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述下壳座与上壳座之间还设置有辅助安装座和感应片固定座，所述感应片固定座设置在辅助安装座内侧，所述正压感应片和负压感应片分别设置在各自的感应片固定座上。

5.根据权利要求1所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述下壳座和上壳座之间的最外侧还设置有硅油腔座，所述油腔为硅油腔。

6.根据权利要求5所述的一种高精度压差传感器，其特征在于：所述硅油腔座上还设置有填充座，所述硅油腔座采用所述填充座固定在正压腔座或负压腔座上。