[实用新型]用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置有效

专利信息
申请号: 201721061563.7 申请日: 2017-08-23
公开(公告)号: CN207248813U 公开(公告)日: 2018-04-17
发明(设计)人: 王兴平;张代琼;邢洪滨 申请(专利权)人: 确信乐思化学(上海)有限公司
主分类号: G01N27/26 分类号: G01N27/26
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司31224 代理人: 刘粉宝
地址: 201417 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 在线 监控 化学 稳定性 电位 分析 测试 反应 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及一种测试反应装置,具体地说,涉及一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置。

背景技术

众所周知,化学镀液远远不如电镀液稳定可控,电镀液可以用一年左右,而化学镀液易于老化分解的特点使其寿命很短,如化学镍正常寿命只有6MTOs(约连续使用2周),化学铜也只能连续使用一个月,频繁的排旧换新加重了废水处理和排放的成本与压力。电镀液的人工取样测试是每天一次,而化学镀液的人工取样分析测试是每小时一次。即使这样,仍有管理的不及时和不到位(如只能分析pH、主盐、还原剂,其它如络合剂、稳定剂、副产物等,在短短1小时内根本分析不完),导致异常频发,伴随的是大量工件的报废,更是给环境治理和成本控制雪上加霜。

镀液的稳定性是镀液pH、主盐、络合剂、稳定剂、还原剂、镀速、副产物浓度等综合作用的结果,在线24小时不间断的稳定性测试填补了化学镀精密管理的空白。

实用新型内容

为了克服现有技术中的上述缺陷,本实用新型提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置。为了实现本实用新型的目的,本实用新型的技术方案如下:

本实用新型提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的测试反应装置,该测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11),上述温度补偿感应棒和电极均通过固定结构(15)被设置在自动监测电控头(12)上,且自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)上。

在本实用新型的一优选实施方案中,温度补偿感应棒(8)和参比电极(9)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上,工作电极(10)和pH补偿电极(11)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上。

在本实用新型的一更优选实施方案中,参比电极(9)和工作电极(10)相对地被设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)内侧。

在本实用新型的一更优选实施方案中,测试反应装置还包括相对地设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)外侧的脚(16)。

在本实用新型的一更优选实施方案中,脚(16)是由耐腐蚀性材料制成。

本实用新型的测试反应装置具有以下优点:目前广泛使用的电位滴定仪多用于无指示剂的单一氧化还原反应,且只能用于实验室,而本实用新型将其升级到复杂的氧化还原反应(除主反应外,副反应就有多种)。另外,在混合液中逐一研究每一个氧化还原反应的电位差变化,不仅很难实行,而且功用也不大。本实用新型利用化学镀液发生氧化还原化学反应的特点,且利用参比电极和工作电极适时监控镀液在工作或待工过程中电位差的变化,将此电位差转换成稳定性变化;本实用新型驱繁就简,用化学镀液的综合电位差的适时变化来指示并量化现场大槽化学镀液稳定性的变化。另外,由于采用了温度补偿感应棒和pH补偿电极,本发明可以实时准确地测量溶液的电位差,从而测量溶液的稳定性。

包括本实用新型的测试反应装置的电位分析仪在线监控化学镀液稳定性变化,如化学镀铜、银、镍等。

包括本实用新型的测试反应装置的电位分析仪不用人工操作,安全可行,时效性高,无时无刻随时随地掌控化学镀液稳定性的变化,为化学镀量产维护、节能减排、高端电子元件(如芯片、模塑互连精密线路)的精密线路等,提供可靠的量测及监控。

包括本实用新型的测试反应装置的电位分析仪可以应用于塑料、金属、半导体(硅)上的化学镀铜、镍等的工作液稳定性管理,从而减少镀液非正常报废,延长镀液使用寿命,减少高精密昂贵电子产品残次品(如半导体),节省人工和工时,稳定品质、提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

图2为本实用新型中主机与液位计、进液泵和控制阀的配合示意图。

具体实施方式

用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪(如图1),包括测试反应装置、自动添加装置和远程监控主机。

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