[实用新型]用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪有效

专利信息
申请号: 201721061569.4 申请日: 2017-08-23
公开(公告)号: CN207248816U 公开(公告)日: 2018-04-17
发明(设计)人: 王兴平;张代琼;邢洪滨 申请(专利权)人: 确信乐思化学(上海)有限公司
主分类号: G01N27/416 分类号: G01N27/416
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司31224 代理人: 刘粉宝
地址: 201417 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 在线 监控 化学 稳定性 电位 分析
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种电位分析仪,具体地说,涉及一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪。

背景技术

众所周知,化学镀液远远不如电镀液稳定可控,电镀液可以用一年左右,而化学镀液易于老化分解的特点使其寿命很短,如化学镍正常寿命只有6MTOs(约连续使用2周),化学铜也只能连续使用一个月。频繁的排旧换新加重了废水处理和排放的成本与压力。电镀液的人工取样测试是每天一次,而化学镀液的人工取样分析测试是每小时一次。即使这样,仍有管理的不及时和不到位(如只能分析pH、主盐、还原剂,其它如络合剂、稳定剂、副产物等,在短短一小时内根本分析不完),导致异常频发,伴随的是大量工件的报废,更是给环境治理和成本控制雪上加霜。

镀液的稳定性是镀液pH、主盐、络合剂、稳定剂、还原剂、镀速、副产物浓度等综合作用的结果,在线24小时不间断的稳定性测试填补了化学镀精密管理的空白。

实用新型内容

为了克服现有技术中的缺陷,本实用新型提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪。为了实现本实用新型的目的,本实用新型的技术方案如下:

本实用新型提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪,所述电位分析仪包括测试反应装置、自动添加装置和远程监控主机,其中,所述自动添加装置包括化学镀补充液储存桶(1)、定量加药器(4)、用于化学镀补充液储存桶(1)和定量加药器(4)之间流体连通的进液管(3)、补充液回流及排气管(6)以及用于定量加药器(4)和现场工作液辅槽镀液(7)之间流体连通的定量加药管(5),所述自动添加装置成一直线排列,

所述测试反应装置包括温度补偿感应棒(8)、参比电极(9)、工作电极(10)和pH补偿电极(11),上述温度补偿感应棒和电极均通过固定结构(15)被设置在自动监测电控头(12)上,且自动监测电控头(12)通过导线被连接到远程监控主机(13)上。

在本实用新型的一优选实施方案中,所述自动添加装置的个数取决于镀液中待补充的化学镀补充液的种类。

在本实用新型的一优选实施方案中,进液管(3)上连有进液泵(17)。

在本实用新型的一更优选实施方案中,温度补偿感应棒(8)和参比电极(9)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上,工作电极(10)和pH补偿电极(11)通过固定结构(15)相邻地被设置在自动监测电控头(12)上。

在本实用新型的一更优选实施方案中,参比电极(9)和工作电极(10)相对地被设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)内侧。

在本实用新型的一更优选实施方案中,所述测试反应装置还包括相对地设置在温度补偿感应棒(8)和pH补偿电极(11)外侧的脚(16)。

在本实用新型的一更优选实施方案中,脚(16)是由耐腐蚀性材料制成。

在本实用新型的一优选实施方案中,电位分析仪还包括清洗液储存瓶(18),其中装有清洗液,清洗液储存瓶(18)通过导线被连接到远程监控主机(13)并且通过输液管(20)与现场工作液辅槽(7)流体连通。

本实用新型的电位分析仪用来24小时不间断在线监测工作大槽稳定性的变化状况,进一步提高监测与添加补充液维护的时效性,减少实验室取样分析作业和人工添加补充液的不及时带来的镀液老化损失,其主要特点及优点是:

(1)非破坏性测试,可直接安装于现场工作液,不用人为地取样进行测试,能随时及时地作添加补充,不用人工添加补充液,减轻作业者工作负荷,降低工人的危险化学接触时间,安全卫生;

(2)24小时不间断在线监测镀液在不同老化时期的稳定性,能随时及时地作添加补充,减少停线添加补充液保养的频率,保证生产的连续性和稳定性,使化学镀生产顺畅可控,延长镀液的品质和使用寿命,减少镀液的突发异常和废液排放量,节能减排,提升生产效率和品质;

(3)使化学镀稳定性在一个更小的范围内波动,确保镀件品质的一致性。对于一些特殊精密的电子元件,如半导体芯片上的微观线路或模塑互连天线上的精密线路,镀液太稳定则因漏镀而断路;镀液活性太高,则因溢镀粘连而短路。本实用新型可以为化学镀液的稳定性的连续精密监管提供有力支持。

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