[实用新型]基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的装置有效
申请号: | 201721070447.1 | 申请日: | 2017-08-25 |
公开(公告)号: | CN207096089U | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 张忠民;吴壮壮;徐立佳 | 申请(专利权)人: | 青岛众瑞智能仪器有限公司 |
主分类号: | G01N21/31 | 分类号: | G01N21/31;G01N21/45 |
代理公司: | 青岛致嘉知识产权代理事务所(普通合伙)37236 | 代理人: | 张晓艳 |
地址: | 266109 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 光学 吸收 干涉 检测 气体 浓度 装置 | ||
1.一种基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的装置,其特征在于:包括光发射器、分光镜、参比气室、样气气室、全反镜及光电检测器,所述光发射器发射入射光与分光镜呈45°,经分光后分为反射光和透射光,两束光分别照射参比气室和样气气室后,经设置在气室后的反光镜反射回分光镜,合束后同方向射出的两束光产生干涉,光电检测器检测零级条纹处光线强度。
2.根据权利要求1所述的基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的装置,其特征在于:所述分光镜光入射面设置有半反半透膜,所述反射光光路上设置有补偿镜。
3.根据权利要求2所述的基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的装置,其特征在于:所述光发射器发射的光为红外光、可见光或紫外光。
4.根据权利要求3所述的基于光学吸收和干涉法检测气体浓度的装置,其特征在于:所述光电检测器为光谱仪,检测不同波长的光强度。
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