[实用新型]一种新型研磨盘

权利要求书

1.一种新型研磨盘，包括上磨盘（1）、载物盘（2）、导向结构（3）和限位结构（4），其特征在于：所述上磨盘（1）设置在所述载物盘（2）上方，所述限位结构（4）穿设在所述载物盘（2）中心处，所述导向结构（3）设置在所述限位结构（4）内部且能够与所述限位结构（4）上下相对运动，所述上磨盘（1）底部与所述导向结构（3）顶部连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述导向结构（3）包括导向杆（5）和导向板（6），多个所述导向板（6）均匀设置在所述导向杆（5）外圆周上。

3.根据权利要求2所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述限位结构（4）为圆筒状，其内部侧壁开设有与所述导向板（6）配合的滑槽（7），所述导向板（6）能够在所述滑槽（7）内部上下移动。

4.根据权利要求2所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述导向杆（5）底部与所述限位结构（4）固定连接，所述导向杆（5）下端为伸缩结构，所述导向杆（5）下端内部设有弹簧，所述弹簧一端与所述导向杆（5）内部固定连接，所述弹簧另一端与所述限位结构（4）内部底面固定连接。

5.根据权利要求2所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述上磨盘（1）顶端设有驱动电机（8），所述上磨盘（1）底部设有转动轴承（9），所述导向杆（5）上部穿设在所述转动轴承（9）中心处。

6.根据权利要求1所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述限位结构（4）与所述载物盘（2）为螺纹连接。

7.根据权利要求1所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述载物盘（2）上均匀开设有圆周等角度分布的凹槽（10），所述凹槽（10）的深度小于晶圆的厚度。

8.根据权利要求1所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述限位结构（4）顶端平面内部设有压力传感器。

9.根据权利要求1所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述载物盘（2）为陶瓷盘。

10.根据权利要求1所述的一种新型研磨盘，其特征在于：所述载物盘（2）上表面开设有透水孔。