[实用新型]一种应力迁移测试结构有效
| 申请号： | 201721074174.8 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN207303081U | 公开（公告）日： | 2018-05-01 |
| 发明（设计）人： | 单法宪;吴启熙 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/49 | 分类号： | H01L23/49 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应力 迁移 测试 结构 | ||
1.一种应力迁移测试结构，其特征在于，包括：
间隔排布的第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘、第四焊盘；
连接于所述第一焊盘和所述第二焊盘之间并且弯折成蛇形的第一金属线；
连接于所述第三焊盘和所述第四焊盘之间并且弯折成蛇形的第二金属线，所述第二金属线和所述第一金属线位于不同层；
于所述第一金属线连接所述第二焊盘的一端延伸出一第三金属线；
于所述第二金属线连接所述第三焊盘的一端延伸出一第四金属线；
所述第三金属线和所述第四金属线之间通过通孔连接。
2.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述应力迁移测试结构形成于晶圆的切割道上。
3.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述第三金属线和所述第四金属线之间通过一个所述通孔连接。
4.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述第三金属线和所述第四金属线之间通过多个所述通孔连接。
5.如权利要求4所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述第三金属线包括多个间隔设置的第一金属段，所述第四金属线包括多个间隔设置的第二金属段，所述第一金属段与所述第二金属段相错设置；
每个所述第一金属段的两端分别通过一个所述通孔连接于相邻的两个所述第二金属段，多个所述通孔形成链状通孔结构。
6.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述第一金属线和所述第三金属线的材质相同，并且所述第一金属线和所述第三金属线的各处的宽度相等。
7.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，所述第二金属线和所述第四金属线的材质相同，并且所述第二金属线和所述第四金属线的各处的宽度相等。
8.如权利要求1所述的应力迁移测试结构，其特征在于，第一焊盘、第二焊盘、第三焊盘、第四焊盘呈一字形排列。
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