[实用新型]微纳光检测装置及光检测系统

权利要求书

1.一种微纳光检测装置，其特征在于，所述微纳光检测装置包括第一盖板、第二盖板以及传导组件，所述传导组件设置于所述第一盖板与所述第二盖板之间，所述第一盖板及所述第二盖板用于防止通过所述传导组件传导的电磁波发生泄露，所述传导组件包括第一波导、第二波导及共振腔，所述第一波导和所述第二波导设置于所述共振腔相对的两侧，所述第一波导、共振腔及第二波导用于传导特定波长的光。

2.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一波导包括第一表面，所述第一表面开设有第一狭缝，所述第一狭缝的深度方向与所述第一表面垂直，所述第一狭缝的深度小于所述第一表面到所述共振腔的外壁的距离。

3.如权利要求2所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第二波导包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面开设有第二狭缝，所述第二狭缝的深度方向与所述第二表面垂直，所述第二狭缝的深度小于所述第二表面到所述共振腔的外壁的距离。

4.如权利要求3所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一狭缝和所述第二狭缝相对于所述共振腔对称设置。

5.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述共振腔为圆柱状，所述共振腔的高度方向与所述第一盖板和所述第二盖板均垂直。

6.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述共振腔内设置有挡板，所述挡板与所述共振腔的内壁连接。

7.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一盖板和所述第二盖板均开设有通孔，所述第一盖板的通孔用于向所述传导组件内部注入液体或气体，所述第二盖板的通孔用于所述液体或所述气体流出所述传导组件，以检测微纳光检测装置的共振腔内物质折射率的变化。

8.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一盖板和所述第二盖板均为金属盖板。

9.如权利要求1所述的微纳光检测装置，其特征在于，所述第一波导和所述第二波导均为MIM波导。

10.一种光检测系统，其特征在于，所述光检测系统包括光强检测装置以及如权利要求1-6任意一项所述的微纳光检测装置，所述光强检测装置用于检测从所述微纳光检测装置的传导组件传导射出的光的强度。