[实用新型]一种CPU制造用晶圆切割设备

权利要求书

1.一种CPU制造用晶圆切割设备，其特征在于，包括有底板（1）、收集框（2）、侧板（3）、顶板（4）、左右移动机构（5）、联动机构（6）、升降机构（7）、夹紧机构（8）和切割机构（9）；收集框（2）、左右移动机构（5）、侧板（3）沿水平方向依次固接于底板（1）顶部，顶板（4）固接于侧板（3）顶部，联动机构（6）固接于侧板（3）靠近左右移动机构（5）的一侧部；升降机构（7）固接于顶板（4）底部，且升降机构（7）通过联动机构（6）与左右移动机构（5）传动式连接；夹紧机构（8）固接于升降机构（7）的输出端，切割机构（9）固接于左右移动机构（5）的输出端。

2.根据权利要求1所述的一种CPU制造用晶圆切割设备，其特征在于，左右移动机构（5）包括有第一滑轨（51）、第一滑块（52）、支撑座（53）、电机（54）、第一转轴（55）、移动框（58）、第一皮带轮（56）和凸轮（57）；第一滑轨（51）固接于底板（1）顶部，移动框（58）通过第一滑块（52）与第一滑轨（51）滑动式连接，支撑座（53）固接于底板（1）顶部，电机（54）固接于支撑座（53）顶部；第一转轴（55）一端部与电机（54）枢接，凸轮（57）固接于第一转轴（55）另一端部；凸轮（57）与移动框（58）滚动连接，第一皮带轮（56）固接于第一转轴（55），且与联动机构（6）传动式连接。

3.根据权利要求2所述的一种CPU制造用晶圆切割设备，其特征在于，联动机构（6）包括有第二皮带轮（61）、第二转轴（62）、第一锥齿轮（63）、第一平皮带（64）、第一轴承座（65）、第二锥齿轮（66）、第二轴承座（67）、第三转轴（68）、第四转轴（69）、第三轴承座（610）、第三皮带轮（611）、第二平皮带（612）、棘爪（613）、棘轮（614）和弹性件（615）；第一轴承座（65）、第二轴承座（67）、第三轴承座（610）沿竖直方向依次固接于侧板（3）靠近升降机构（7）的一侧部；第二转轴（62）一端部与第一轴承座（65）枢接，第一锥齿轮（63）固接于第二转轴（62）另一端部；第二皮带轮（61）固接于第二转轴（62），且第二皮带轮（61）通过第一平皮带（64）与第一皮带轮（56）传动式连接；第三转轴（68）与第二轴承座（67）枢接，第二锥齿轮（66）固接于第三转轴（68）底端，第二锥齿轮（66）与第一锥齿轮（63）啮合，棘爪（613）铰接于第三转轴（68）顶端；弹性件（615）一端部与棘爪（613）固接，另一端部与第三转轴（68）固接；第四转轴（69）与第三轴承座（610）枢接；棘轮（614）固接于第四转轴（69）底端，且与棘爪（613）啮合；第三皮带轮（611）固接于第四转轴（69）顶端，且通过第二平皮带（612）与升降机构（7）传动式连接。

4.根据权利要求3所述的一种CPU制造用晶圆切割设备，其特征在于，升降机构（7）包括有第一安装板（71）、连接板（72）、第四皮带轮（74）、丝杆（75）、第二滑轨（76）、第二滑块（77）、第二安装板（78）、第四轴承座（711）、第一螺母（79）和连接杆（710）；第一安装板（71）固接于顶板（4）底部，两连接板（72）固接于第一安装板（71）两端部，靠近侧板（3）一侧的连接板（72）开设有供第二平皮带（612）穿过的通孔（73），第二滑轨（76）固接于连接板（72）底部，第二安装板（78）通过第二滑块（77）与第二滑轨（76）滑动式连接，第一螺母（79）固接于第二安装板（78）中部，第四轴承座（711）固接于第二安装板（78）底部，丝杆（75）顶端与第四轴承座（711）枢接，丝杆（75）与第一螺母（79）螺接；第四皮带轮（74）固接于丝杆（75），且通过第二平皮带（612）与第三皮带轮（611）传动式连接；连接杆（710）固接于第一螺母（79）底部，且与夹紧机构（8）传动式连接。