[实用新型]一种用于材料单面减薄的研磨治具

说明书

本实用新型公开了一种用于材料单面减薄的研磨治具。其中：所述的游星轮的上端面上固定的安装有均匀分布的万向滚珠；所述的游星轮的下端面上开设有均匀分布的装夹凹槽；所述的游星轮的圆弧外沿上设置有均匀分布的凸齿，形成外齿圈，本实用新型的优点在于：结构简单，易于操作。

技术领域

本实用新型涉及材料平面加工领域，特别是涉及一种用于材料单面减薄的研磨治具。

背景技术

蓝宝石(Sapphire)是一种氧化铝才(α-Al2O3)的单晶，又称为刚玉。蓝宝石晶体具有优异的光学性能、机械性能和化学稳定性，强度高、硬度大、耐冲刷，可在接近2000℃高温的恶劣条件下工作，因而被广泛的应用于红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。

目前主流的蓝宝石长晶方法包括：泡生法、导模法、热交换法、提法法、坩埚下降法、水平区熔法等；其中导模法具有生长时间短、耗电量低、可定向/定形生长、晶体加工简单等优势，可以预测导模法将逐渐取代泡生法成为蓝宝石晶体主流生长方式。目前，只有俄罗斯、美国和日本等少数国家掌握此技术，同时国外进口装备存在产品一致性差、人工依赖性高、交货周期长、价格昂贵等问题，因此制造拥有自主知识产权的导模法长晶检测装备及长晶技术刻不容缓。

我国对蓝宝石晶体导模法生长装备和长晶工艺的研究起步较晚，国内目前尚没有成熟的多片导模法长晶设备及长晶工艺，导模法蓝宝石晶片配套专用加工检测设备存在空白；在产品方面，在蓝宝石LED衬底片、手机屏、国防用导弹整流罩以及航空航天用大尺寸蓝宝石面板长期依赖进口，因此我们研发蓝宝石导模法长晶检测装备及多片长晶工艺刻不容缓，也是填补国内行业空白。

由于蓝宝石的超高硬度，其成品加工成本高、耗时长，加工难度大，加工成本已经成为影响蓝宝石相关产品市场应用的主要因素之一；鉴于此种情况，选择合适的加工工艺，合适的设备及夹治具，对于提高蓝宝石晶片加工成品率、降低加工成本具有重要意义。

发明内容

本实用新型要解决的任务是提供一种用于材料单面减薄的研磨治具，使得蓝宝石研磨加工更加精确、省事、省力，通过单面研磨，实现蓝宝石平面定向研磨，成功避开晶体内部缺陷，提高材料利用率，降低加工成本。

为了解决上述问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

一种用于材料单面减薄的研磨治具，包括：外游星轮、万向滚珠、装夹凹槽、外齿圈、研磨机上盘、研磨机下盘面、研磨机中心齿；其中：所述的游星轮的上端面上固定的安装有均匀分布的万向滚珠；所述的游星轮的下端面上开设有均匀分布的装夹凹槽；所述的游星轮的圆弧外沿上设置有均匀分布的凸齿，形成外齿圈；所述的游星轮中部设置有通孔，上述的通孔的内壁上设置有均匀分布的凸齿，形成研磨机中心齿。

本实用新型的优点在于：结构简单，通过设置万向滚珠降低了研磨机上盘与外游星轮的摩擦力，使得外游星轮能够在较小的摩擦力的作用下相对于研磨机上盘滑动，减小了研磨过程中待加工材料受到的应力强度，防止材料受力过大造成裂纹。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的使用时的放置示意图；

图3为本实用新型的使用示意图；

图4为本实用新型的剖面示意图；

附图说明：游星轮1、万向滚珠2、装夹凹槽3、外齿圈4、研磨机上盘5、研磨机下盘面6、研磨机中心齿7。

具体实施方式