[实用新型]一种用于精密仪器的防微振基座有效
申请号: | 201721103915.0 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207334101U | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 何成伟 | 申请(专利权)人: | 协伟集成电路设备(上海)有限公司 |
主分类号: | F16M5/00 | 分类号: | F16M5/00;F16M7/00 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 何葆芳 |
地址: | 201614 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 精密仪器 防微振 基座 | ||
本实用新型公开了一种用于精密仪器的防微振基座,其包括基座本体和若干用于与精密仪器固定连接的钢铁配件,所述基座本体是由钢板框体与钢筋结构和混凝土构成,若干钢铁配件均嵌设在基座本体的顶面上,所述基座本体内设有数个空腔,所述空腔的开口位于基座本体的底部;其特征在于:所述钢铁配件同时与所述钢筋结构在竖直方向上固定连接。本实用新型所述的用于精密仪器的防微振基座,可有效避免纵向微振载荷对基座产生的损坏影响,纵向抗微振载荷性能强,可满足精密仪器的高精度技术规范要求。
技术领域
本实用新型是涉及一种防微振基座,具体是涉及一种用于精密仪器的防微振基座,属于精密仪器基础座技术领域。
背景技术
基座作为精密仪器的支撑基础和安装平台,通过设有钢铁配件与精密仪器固定连接,其稳固性和尺寸精度直接影响仪器的工作精度,对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大的影响,特别是在半导体和光电等对所用仪器的精密度要求极高行业中。传统基座上的用于与机密仪器连接的钢铁配件是直接嵌设于混凝土中,仅通过混凝土的凝固作用来实现连接固定,而仪器在实际运行中会产生微振动,因钢铁配件与混凝土的凝固连接作用有限,以致仪器在长时间运行或微振动幅度突然增大时,基座纵向抗微振载荷性能不足,易产生裂痕等现象,致使基座上方的精密仪器的工作环境被破坏,进而导致产品破坏或者产品质量合格率低,造成巨大经济损失;而且,在混凝土灌注过程中,钢铁配件易发生水平方向上的偏移和竖直方向上的浮动,其精准位置不易控制,与预期结果存在偏差,导致设备安装时基座的钢铁配件位置不能满足精密仪器的高精度技术规范要求;因此,开发一种结构简单、便于制作、钢铁配件定位精准的用于精密仪器的防微振基座,是本领域亟待解决的技术问题。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题和需求,本实用新型的目的是提供一种结构简单、便于制作、钢铁配件定位精准的用于精密仪器的防微振基座,以满足精密仪器克服纵向微振载荷的要求。
为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:
一种用于精密仪器的防微振基座,包括基座本体和若干用于与精密仪器固定连接的钢铁配件,所述基座本体是由钢板框体与钢筋结构和混凝土构成,若干钢铁配件均嵌设在基座本体的顶面上,所述基座本体内设有数个空腔,所述空腔的开口位于基座本体的底部;其特征在于:所述钢铁配件同时与所述钢筋结构在竖直方向上固定连接。
一种实施方式,所述钢铁配件通过纵向加强筋与所述钢筋结构在竖直方向上固定连接。
进一步实施方式,所述钢铁配件与纵向加强筋及纵向加强筋与所述钢筋结构之间均为焊接固定。
一种实施方式,所述钢筋结构呈网状,包括侧面钢筋网和顶面钢筋网,所述钢铁配件与顶面钢筋网在竖直方向上固定连接。
一种实施方式,所述钢铁配件在基座本体制作前先与基座制作平台固定连接。
进一步实施方式,在所述基座制作平台上设有与所述钢铁配件相配合的凹槽,所述钢铁配件嵌设在所述凹槽内。
进一步实施方式,所述钢铁配件与基座制作平台之间通过全螺纹螺栓锁紧固定。
作为优选方案,所述空腔的截面呈等腰梯形结构。
相对于现有技术,本实用新型具有如下有益效果:
本实用新型所述的用于精密仪器的防微振基座,通过使钢铁配件同时与所述钢筋结构在竖直方向上固定连接,可有效避免纵向微振载荷对基座产生的损坏影响,使得所述基座的纵向抗微振载荷性能强,可保证固定在基座上方的精密仪器的高精密工作环境;另外,使所述钢铁配件在基座本体制作前先与基座制作平台固定连接,可保证钢铁配件在混凝土灌注过程中不会发生位置偏移,可保证钢铁配件定位精准,从而可满足精密仪器的高精度技术规范要求;因此,本实用新型相对于现有技术具有显著性进步。
附图说明
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