[实用新型]一种供气嘴检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，具体为一种供气嘴检测装置。

背景技术

在低温多晶硅工艺中，出于改善TFT(薄膜晶体管)阈值电压及其他电学特性考虑，离子注入发挥着非常重要的作用。在高真空高电压环境中对特气供气嘴的性能也提出了严格的要求。因此，供气嘴在使用前需要进行严格的检测，合格后才能够使用。

相关技术中，一般检测是通过人工按照操作流程手持供气嘴，并用气枪对着供气嘴喷气来以此确认是否通气。但这种检测方式操作繁琐，并且检测误差较大，还有只能一个一个检查，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种供气嘴检测装置，以解决上述背景技术中提出的检测方式操作繁琐，并且检测误差较大，还有只能一个一个检查，工作效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种供气嘴检测装置，包括箱体、检测流量计和活动把手，所述箱体通过活动连接片与箱盖相连接，所述述箱体上表面设有供气嘴固定槽，所述供气嘴固定槽里面安装有供气嘴，且供气嘴固定槽下方设置有锁扣，所述箱体前端安装有供气流量计，且箱体右侧面设有供气调节阀，所述供气调节阀右侧设置有供气口，所述箱体内部设有供气管路，所述供气管路通过供气嘴测试管路与供气嘴固定槽相连接，所述供气嘴测试管路通过供气流量计连接管路与供气流量计相连接，所述箱盖前端设置有锁头，所述检测流量计通过检测管路与箱盖下表面的密封孔相连接，所述活动把手通过卡扣与箱盖上表面相连接。

优选的，所述箱盖上表面设置有活动把手，且箱盖和箱体分别设置有锁头和锁扣。

优选的，所述密封孔与供气嘴固定槽的连接部分设置有密封圈。

优选的，所述供气调节阀内部与供气口相连接。

优选的，所述供气嘴固定槽均匀分布，且供气嘴固定槽均与供气管路相连接。

优选的，所述供气嘴固定槽上设置有与供气嘴的底部螺纹连接的螺纹通孔。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该供气嘴检测装置设置有检测流量计、供气流量计和供气调节阀，且检查是箱体为密封状态，可以一键完成检测，操作简单，且误差较小，该设备设有多个供气嘴固定槽，可以同时检测多个供气嘴，提升工作效率。该散热器设置有活动把手，且箱盖和箱体分别设置有锁头和锁扣，这使得该设备便于搬运，可以移动作业，该设备密封孔与供气嘴固定槽的连接部分设有密封圈，这使得机器在检测时处于密封状态，减小了操作的误差，该设备设有供气调节阀，可以自由调节进气大小，减小检测误差，加强安全度，该设备设置有多个供气嘴固定槽，这使得机器可以同时检测多个供气嘴，提高了工作效率，该设备供气嘴固定槽上设置有与供气嘴的底部螺纹连接的螺纹通孔，这使得供气嘴与供气嘴固定槽连接更紧密，使检测结果更准确。

附图说明

图1为本实用新型供气嘴检测装置结构示意图；

图2为本实用新型内部结构示意图；

图3为本实用新型侧视结构示意图。

图中：1、箱盖，2、密封孔，3、供气嘴，4、供气流量计，5、锁扣，6、供气调节阀，7、供气口，8、箱体，9、锁头，10、供气嘴固定槽，11、供气嘴测试管路，12、供气流量计连接管路，13、供气管路，14、检测管路，15、检测流量计，16、活动把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。