[实用新型]LED光源和光刻机

权利要求书

1.一种LED光源，其特征在于，包括：LED基板、设置在所述LED基板上的LED芯片阵列、与所述LED芯片阵列对应的准直TIR元件阵列以及与所述准直TIR元件阵列对应的能量出射窗口，所述LED芯片阵列发出的若干束光经所述准直TIR元件阵列准直、偏转后入射到所述能量出射窗口。

2.如权利要求1所述的LED光源，其特征在于，所述LED芯片阵列包括若干LED芯片，所述准直TIR元件阵列包括若干准直TIR元件，所述准直TIR元件与所述LED芯片一一对应，对LED芯片发出的光束进行准直、偏转。

3.如权利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述LED芯片阵列中的各LED芯片，位于相同平面或不同平面或者部分位于相同平面部分位于不同平面。

4.如权利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述准直TIR元件阵列中的各准直TIR元件的偏转角度与对应的LED芯片的偏转角度相同。

5.如权利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述LED芯片以朗伯型角分布向外辐射能量。

6.如权利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述准直TIR元件采用紫外透光材料制成。

7.如权利要求6所述的LED光源，其特征在于，所述紫外透光材料包括融石英材料。

8.如权利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述准直TIR元件包括：准直光学部分和与所述准直光学部分一体式成型的柱形延展部分，准直光学部分对LED芯片发出的光束进行准直，柱形延展部分对所述光束进行偏转。

9.如权利要求8所述的LED光源，其特征在于，所述准直光学部分的端部开设有沉孔，所述LED芯片设置在所述沉孔的开口处。

10.如权利要求9所述的LED光源，其特征在于，所述准直光学部分的侧面为自由曲面，所述沉孔底面为类球形凸起，所述自由曲面与类球形凸起配合实现对所述光束的准直。

11.如权利要求8所述的LED光源，其特征在于，所述柱形延展部分的端面为一倾斜平面，使LED芯片发出的光线偏转一定角度以到达能量出射窗口。

12.如权利要求8所述的LED光源，其特征在于，所述柱形延展部分的长度Lo＝R/[tan(arc sin(1/N))]，其中，R为准直TIR元件的口径，N为准直TIR元件的折射率。

13.如权利要求2所述的LED光源，其特征在于，所述能量出射窗口的尺寸等于准直TIR元件的口径。

14.如权利要求1所述的LED光源，其特征在于，所述LED基板还与一控制器连接。

15.一种光刻机，包括照明单元，其特征在于，所述照明单元采用如权利要求1～14任意一项所述的LED光源。