[实用新型]致动传感模块

权利要求书

1.一种致动传感模块，其特征在于，包含：

一第一基板，包含一进气通道、一排气通道、一进气口与一排气口，该进气通道与该排气通道分别透过该进气口与该排气口连通至该第一基板之外部；

一第二基板，开设一贯穿槽；

一阀片层，包含一进气阀与一排气阀，该阀片层设置于该第一基板及该第二基板之间，且该进气阀及该排气阀分别封闭隔绝该进气通道及该排气通道；

一致动装置，设置于该第二基板并封闭该贯穿槽，以在该阀片层与该第二基板的该贯穿槽之间形成一压缩腔室，其中该进气口、该进气通道、该压缩腔室、该排气通道及该排气口相互连通而形成一气流回路；以及

一传感器，设置于该气流回路中的任一位置；

透过驱动该致动装置，使该阀片层的该进气阀向上振动开启，以将外界的一气体经由该进气口导入该进气通道内，并使该气体流经该阀片层进入该压缩腔室，再透过该致动装置压缩该压缩腔室，使该阀片层的该排气阀向下振动开启，使该气体由该压缩腔室流经该阀片层进入该排气通道，并由该排气口排出，以供设置于该气流回路中的该传感器对循环流通的该气体进行监测。

2.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该传感器对应该进气口设置于该进气通道中。

3.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该传感器对应该排气口设置于该排气通道中。

4.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该传感器透过半导体制程设置于该第一基板与该第二基板中的一者。

5.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板透过半导体制程成型出该进气通道与该排气通道，且该第二基板透过半导体制程成型出该贯穿槽。

6.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板透过半导体制程制出一第一控制电路，该第二基板透过半导体制程制出一第二控制电路，该第一控制电路电性连接该传感器以接收该传感器所产生的感测数据并加以运算处理，而该第二控制电路则电性连接该致动装置以提供该致动装置驱动电源。

7.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该进气阀及该排气阀分别为一可启闭式阀门开关结构。

8.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该阀片层为一弹性膜状阀。

9.如权利要求8所述的致动传感模块，其特征在于，该阀片层更包含多个空隙，该多个空隙设置于该进气阀及该排气阀的周缘，以供该气体流通。

10.如权利要求9所述的致动传感模块，其特征在于，该第一基板对应该进气阀处以及该第二基板对应该排气阀处，更分别具有一凸部结构，以产生一预力顶触该进气阀与该排气阀，借以防止该气体逆流。

11.如权利要求8所述的致动传感模块，其特征在于，该排气阀与该进气阀中的一者，更具有一凸部结构，以产生一预力顶触该排气阀与该进气阀中的一者的一阀门，借以防止该气体逆流。

12.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器、一二氧化碳传感器、一温度传感器、一臭氧传感器及一挥发性有机物传感器的至少其中之一或其组合。

13.如权利要求1所述的致动传感模块，其特征在于，该致动装置为一微机电系统气体泵，且为一体成型结构，其包含：

一致动膜，为面型微加工技术制成的平面结构，且为一金属材料薄膜或一多晶硅薄膜所构成；以及

一压电膜，为一以溶胶凝胶法制成的金属氧化物薄膜，并贴附于该致动膜的一表面；

当该压电膜驱动该致动膜向上振动时，该压缩腔室产生压力梯度以使该气体由该进气通道流入；当该压电膜驱动该致动膜向下振动时，该压缩腔室受到压缩以使该气体流出至该排气通道中。