[实用新型]图案形成片及图案制造装置有效
申请号: | 201721112419.1 | 申请日: | 2017-08-31 |
公开(公告)号: | CN207882648U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
发明(设计)人: | 大嶋英司 | 申请(专利权)人: | 康达智株式会社 |
主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李德山;杜诚 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图案形成 图案制造装置 激光投影仪 光学引擎 控制器 本实用新型 光固化层 光学路径 图案制造 中空结构 准确定位 材料层 激光束 片材料 透光片 涂敷 照射 图案 阻碍 | ||
本实用新型公开了一种图案形成片及图案制造装置。能够实现消除高成本准确定位的必要性的图案形成和图案制造。图案制造装置(100)包括控制器(101)和激光投影仪(102)。控制器(101)控制激光投影仪(102)在放置在台(140)上的图案形成片(130)上形成图案。激光投影仪(102)还包括光学引擎(121)。光学引擎(121)用激光束(122)照射图案形成片(130)。台(140)具有不阻碍光束(122)的光学路径的中空结构。图案形成片(130)包括透光片材料层和涂敷到片材料层的光固化层。
技术领域
本实用新型涉及图案形成片及图案制造装置。
背景技术
在上述技术领域中,专利文献1公开了一种用光照射形成有电路图案的光掩模并使电路图案显露在板上的技术。
[专利文献1]日本专利特开No.2002-194253
实用新型内容
在上述文献中描述的技术中,可以在印刷电路板上形成图案。然而,需要准确的设备、装置和技术来对准掩模和板。因此,终端用户不能有效地使用该技术。
本实用新型能够提供一种解决上述问题的技术。使用光束来形成图案的潜像,并且用光束照射粘附有图案形成片的工件,从而形成图案的潜像。这使得能够消除高成本精确定位的必要性的图案形成和图案制造。
本实用新型的一个方面提供了一种用于形成图案的图案形成片,其适合于任意工件表面,该图案形成片包括:
透光片材料层;以及
膏状光固化层,其涂敷到片材料层并且包含光固化树脂。
本实用新型的另一方面提供了一种图案制造装置,其包括:
形成单元,其被配置成通过用光束照射上述图案形成片来形成图案。
本实用新型的又一方面提供了一种图案制造方法,其包括:
将上述图案形成片粘附到具有任意形状的工件;
通过用光束照射图案形成片来形成图案;以及
将片材料层与所形成的图案分离。
本实用新型的再一方面提供了一种用于使计算机执行方法的图案制造程序,所述方法包括:
通过用光束照射上述图案形成片来形成图案。
根据本实用新型,可以在具有任意形状的工件上使图案成型。
附图说明
图1是用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的整体配置的概要的示意图;
图2A是示出通过根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置进行的图案形成过程的概要的图;
图2B示出用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的配置的平面图和侧面图;
图2C是用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片以及光束照射后图案形成片的粘附的图;
图2D是用于说明涂敷根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的光固化层的方法的示例的图;
图3是用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的装置配置的示例的图;
图4A是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的示例的图;
图4B是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的另一示例的平面图;
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